靜電力顯微鏡測量摻雜原子分布.pdf

1、靜電力顯微鏡（Electrostatic Force Microscope）是一種非損傷性的探測半導(dǎo)體靜電力分布的新興技術(shù)。隨著該技術(shù)的不斷完善，靜電力顯微鏡得到了廣泛的應(yīng)用跟發(fā)展。近年來研究表明，靜電力可以用來表征半導(dǎo)材料中摻雜原子。探測摻雜原子的傳統(tǒng)方法是掃描隧道顯微鏡技術(shù)（Scanning Tunneling Microscopy）。該技術(shù)有一個最大的缺陷就是探測距離比較短。而靜電力顯微鏡測量是靜電力（Electrostatic

2、Froce）信號，該信號的探測距離是掃描隧道顯微鏡的十倍以上。盡管有些研究已近表明靜電力可以用來表征不同摻雜原子，使用靜電力顯微鏡測量并表征半導(dǎo)體器件中的摻雜原子分布尚屬首次。
　　本次研究展示了兩個半導(dǎo)體器件在靜電力顯微鏡探測下的摻雜原子分布結(jié)果。結(jié)果表明，靜電力分布圖確實可以表征摻雜原子分布結(jié)果。顯微鏡探針與不同摻雜原子之間可以產(chǎn)生強弱不一的靜電力，從而造成靜電力分布圖的波動。通過靜電力的分布，可以直接推斷摻雜原子的分布。