在線光學(xué)傳遞函數(shù)檢測(cè)及其精密定位控制的研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代科技的進(jìn)步，光學(xué)系統(tǒng)成像技術(shù)在工業(yè)和檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用漸趨廣泛，尤其在自動(dòng)化和智能控制方面占著舉足輕重的地位。因此研究光學(xué)系統(tǒng)成像的質(zhì)量檢測(cè)和各種評(píng)價(jià)方法呈現(xiàn)突出的重要性。光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量評(píng)價(jià)有很多種方法，如:星點(diǎn)檢驗(yàn)法、鑒別率法、波相差法、光學(xué)傳遞函數(shù)檢測(cè)法等，其中光學(xué)傳遞函數(shù)(MTF)檢測(cè)法是目前公認(rèn)的最為客觀、有效的一種光學(xué)像質(zhì)檢測(cè)方法。目前光學(xué)傳遞函數(shù)檢測(cè)儀正在向自動(dòng)化與標(biāo)準(zhǔn)化演進(jìn)。自動(dòng)版的MTF檢測(cè)儀對(duì)重復(fù)定位精度的要求比

2、較高，且要求重復(fù)性和穩(wěn)定性好。
　　本文結(jié)合現(xiàn)代自動(dòng)MTF檢測(cè)儀在工業(yè)生產(chǎn)線上使用時(shí)遇到的定位不精準(zhǔn)以及系統(tǒng)不穩(wěn)定等問題，在充分研究了光學(xué)傳遞函數(shù)理論基礎(chǔ)和精密定位檢測(cè)技術(shù)原理的基礎(chǔ)上，提出了基于光柵尺的閉環(huán)位置反饋系統(tǒng)，并在軟件、硬件兩方面將閉環(huán)定位系統(tǒng)融合進(jìn)自動(dòng)MTF檢測(cè)系統(tǒng)中，實(shí)現(xiàn)了±1μm的系統(tǒng)定位精度。
　　MTF檢測(cè)儀的定位精度問題得到解決后，本文對(duì)改進(jìn)后的MTF檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行了儀器重復(fù)性和穩(wěn)定性檢測(cè)并獲得較好的測(cè)