微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)的精密車削加工技術(shù)研究.pdf

1、太赫茲微波器件在通信、探測和醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊，隨著人們對功率、效率、頻帶等性能的要求日益提高，對微波器件的加工精度也提出了更高的要求。現(xiàn)有的微波器件加工工藝逐漸不能滿足其精度要求，需要采用精度更高的加工技術(shù)對其加工。
　　針對微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)深寬比較大，加工困難，加工精度低的問題，本文提出用單點金剛石車削技術(shù)加工微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)的方案，對微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)車削軌跡規(guī)劃，車削變形有限元仿真以及切削實驗進行研究。
　　利用等

2、弦高法對微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)進行直線插補模式的軌跡規(guī)劃，在保證輪廓逼近精度的同時大大提高了加工效率?；贐樣條理論的研究，提出微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)的三次均勻B樣條插補模式軌跡規(guī)劃方法，進一步提高了輪廓逼近精度。同時，研究正弦結(jié)構(gòu)車削用刀具參數(shù)的計算方法，并對加工軌跡進行刀尖圓弧半徑補償。
　　為研究切削工藝參數(shù)對工件變形的影響，本文首先建立熱力耦合的三維有限元切削模型，仿真研究切削工藝參數(shù)對切削力和切削熱的影響規(guī)律；然后基于切削過程中的切

3、削載荷，建立車削變形有限元模型，利用“單元生死”技術(shù)和切削載荷移動加載技術(shù)仿真模擬工件切削過程，得到工件的變形量，并為實際切削中工藝參數(shù)的選擇提供理論指導(dǎo)。
　　對微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)進行加工實驗研究，分析對刀誤差對加工精度的影響，并提出了減小對刀誤差的方案。分別對插補模式、切削工藝參數(shù)以及深寬比等影響加工精度的因素進行切削實驗對比，并用Taylor Hobson輪廓儀對剖分開的工件進行精度檢測，獲得了較好的工件質(zhì)量，驗證了上述理論的