Bimorph結(jié)構(gòu)MEMS微鏡熱驅(qū)動(dòng)性能分析研究.pdf

1、微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）是融合機(jī)、光、電、磁等領(lǐng)域技術(shù)為一體，將常規(guī)集成電路工藝與微機(jī)械加工獨(dú)有特殊工藝相結(jié)合的一種前沿技術(shù)。其具有能耗低、、體積小、集成度高、靈敏度高和價(jià)格低廉等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)療、汽車工業(yè)、軍事國(guó)防、航空航天等領(lǐng)域。電熱型MEMS微鏡，是一種利用微執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)微反射鏡面運(yùn)動(dòng)及偏轉(zhuǎn)，以實(shí)現(xiàn)調(diào)整入射光空間分布的光調(diào)制器，廣泛應(yīng)用于通信領(lǐng)域。但電熱型M E

2、MS微鏡的驅(qū)動(dòng)方式?jīng)Q定了熱量及溫度對(duì)其的影響，故對(duì)電熱型MEMS微鏡進(jìn)行熱分析是非常必要的。
　　本研究分為三個(gè)部分：第一部分針對(duì)電熱MEMS微鏡的一種Bimorp h驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)，以其熱阻模型為基礎(chǔ)，提出解耦和求解其功率分布與溫度分布的方法；并以Bimorp h平均溫度為參考指標(biāo)，提出一種Bimorph結(jié)構(gòu)對(duì)流系數(shù)的估算方法。第二部分以一種有四個(gè)驅(qū)動(dòng)臂的電熱MEMS微鏡研究對(duì)象，根據(jù)Bimorph結(jié)構(gòu)中熱源位置建立不同熱串?dāng)_模型，