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文檔簡介
1、本課題根據(jù)被動(dòng)閥微泵的工作原理，提出了一種基于MEMS技術(shù)具有V型微閥的新型微驅(qū)動(dòng)器，對微驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)中的PZT復(fù)合薄板、微閥的制作、特性進(jìn)行了工藝模擬，設(shè)計(jì)了相關(guān)制作工藝及版圖尺寸，并實(shí)現(xiàn)了微驅(qū)動(dòng)器。通過理論分析給出方形PZT復(fù)合薄板的驅(qū)動(dòng)電壓與撓度、復(fù)合薄板的厚度與撓度，復(fù)合薄板厚度與固有頻率的關(guān)系，為方形硅杯結(jié)構(gòu)微系統(tǒng)器件的理論與實(shí)驗(yàn)的進(jìn)一步比較分析提供了參考依據(jù)。在研制過程中發(fā)現(xiàn)V型微閥設(shè)計(jì)制作的關(guān)鍵因素是硅各向異性腐蝕技術(shù)與設(shè)計(jì)
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