聲表面波微驅(qū)動器及其應(yīng)用.pdf

1、聲表面波技術(shù)是20世紀60年代發(fā)展起來的一門新興學科，它集合了聲學、光學、電子學以及材料學等多個學科。聲表面波器件已被廣泛應(yīng)用于移動通信、航空電子等領(lǐng)域。進入二十一世紀，聲表面波技術(shù)在微流體、固體驅(qū)動等應(yīng)用領(lǐng)域有了長足的發(fā)展。
　　本論文的研究重點是聲表面波微驅(qū)動器的制備及其應(yīng)用，主要工作內(nèi)容包括如下：
　　1.介紹了聲表面波技術(shù)的發(fā)展歷程、聲表面波器件的主要種類及微機電系統(tǒng)，概述了聲表面波微驅(qū)動器在微流體、固體驅(qū)動等領(lǐng)域的

2、國內(nèi)外最新研究進展及科學意義。
　　2.闡述了體聲波的種類及聲表面波的原理和特點，分析了叉指換能器的結(jié)構(gòu)、聲表面波的激勵原理及叉指換能器的δ函數(shù)模型，探討了壓電基片材料的選擇。
　　3.通過MATLAB和ANSYS軟件對聲表面波微驅(qū)動器的驅(qū)動特性進行了仿真。
　　4.研究了聲表面波微驅(qū)動器的微細加工工藝，通過實驗優(yōu)化了各種工藝參數(shù)，并制作了多種尺寸大小的聲表面波微驅(qū)動器。
　　5.闡述了聲表面波在微流體中的傳播原