基于雙波長(zhǎng)移相干涉的光學(xué)非均勻性檢測(cè)技術(shù)研究.pdf

1、光干涉測(cè)量具有高精度、高靈敏度的特點(diǎn)，是一種非接觸式的測(cè)量方式。雙波長(zhǎng)移相干涉技術(shù)將雙波長(zhǎng)全息技術(shù)和移相干涉技術(shù)相結(jié)合，相較于傳統(tǒng)的單波長(zhǎng)移相干涉技術(shù)具有不可替代的優(yōu)點(diǎn)，在保證單波長(zhǎng)測(cè)試精度的前提下可擴(kuò)大測(cè)量范圍，因此具有廣闊的應(yīng)用空間。
　　本文闡述了雙波長(zhǎng)移相干涉技術(shù)基本原理、現(xiàn)有雙波長(zhǎng)干涉測(cè)量裝置;以建立雙波長(zhǎng)移相干涉實(shí)驗(yàn)裝置為目的，設(shè)計(jì)了雙波長(zhǎng)干涉儀光學(xué)系統(tǒng)、消色差準(zhǔn)直物鏡組、成像透鏡組，并根據(jù)裝置的總體技術(shù)要求，在計(jì)算分

2、析基礎(chǔ)上，確定了相關(guān)的硬件參數(shù)，完成了雙波長(zhǎng)移相干涉儀的裝調(diào)，工作波長(zhǎng)分別為632.8nm與532nm，測(cè)試口徑為Φ100mm;在研究現(xiàn)有四步法光學(xué)非均勻性的基礎(chǔ)上，假定波長(zhǎng)相差不大的范圍內(nèi)，光學(xué)非均勻性近似相等，提出了“兩步法”光學(xué)非均勻性的雙波長(zhǎng)移相干涉測(cè)量方法，具有操作簡(jiǎn)單、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn)，由仿真驗(yàn)證了兩步法方法的準(zhǔn)確性和可行性。最后用斐索型雙波長(zhǎng)移相干涉儀對(duì)樣品的光學(xué)非均勻性數(shù)據(jù)進(jìn)行了測(cè)試，并與ZYGO干涉儀的測(cè)試結(jié)果進(jìn)行比對(duì)