移相干涉儀自適應抗振技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、移相干涉術(PSI)是一種高精度、高靈敏度、非接觸式光學測試方法,易受環(huán)境振動的影響,環(huán)境振動是移相干涉儀測量誤差的主要來源之一.論文介紹了移相干涉儀抗振技術的研究進展及存在問題;提出運用聲光調(diào)制器作為光學移頻器在移相干涉儀中嵌入外差測振系統(tǒng),由兩只高速光電雪崩管(APD)進行外差探測,采用新型單片RF/IF集成芯片對兩路40MHz的高頻模擬外差信號直接進行比相,實現(xiàn)了干涉儀所受環(huán)境振動的測量;在獲得振動信息的同時,根據(jù)波前相位偏離預設

2、值的大小,采用自適應處理的方法對振動信息進行實時分析和預測,得到振動反饋補償信號并輸出至PZT移相器,將波前相位鎖定在預設值上,得到了穩(wěn)定的條紋干涉圖,實現(xiàn)了干涉儀的自適應抗振;運用DSP技術實現(xiàn)了自適應LMS算法,并創(chuàng)新地提出象限區(qū)分反饋法對LMS算法進行象限符號修正,在抗振的同時改變波前相位預設值實現(xiàn)了干涉儀的移相測量功能.成功研制了用于自適應抗振的高頻響預壓式PZT移相器,并對其性能進行了分析和測試,首次對PZT移相器動作過程中出

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