斐索型移相式激光干涉儀研究.pdf

1、斐索型移相式激光干涉儀是公認(rèn)的一種高精度、高靈敏度的光學(xué)計(jì)量?jī)x器，在高精度的光學(xué)檢測(cè)中占有不可或缺的地位。本文以Zemax為設(shè)計(jì)和仿真平臺(tái)，搭建了一個(gè)口徑為100mm的斐索型移相式激光干涉儀，它可以分析斐索干涉原理及干涉儀內(nèi)部組成對(duì)儀器檢測(cè)精度的影響，為實(shí)際工程提供理論依據(jù)，具有重要的指導(dǎo)意義。
　　本文首先總結(jié)了國(guó)內(nèi)外斐索型移相式激光干涉儀的發(fā)展現(xiàn)狀，通過對(duì)斐索移相干涉原理的深入研究，提出了口徑為100mm的斐索型移相式激光干涉

2、儀設(shè)計(jì)方案。以Zemax序列界面為設(shè)計(jì)平臺(tái)，設(shè)計(jì)了斐索平面和球面干涉系統(tǒng)，并將設(shè)計(jì)的系統(tǒng)數(shù)據(jù)導(dǎo)入到Zemax非序列干涉仿真界面中，得到了平面和球面干涉圖。其次以Matlab軟件為算法處理平臺(tái)，采用中值濾波法對(duì)干涉圖進(jìn)行預(yù)處理；分析了各種移相算法對(duì)儀器主要誤差源（移相誤差、探測(cè)器二階非線性、多光束干涉效應(yīng)和高頻噪聲）的響應(yīng)情況，確定用傳統(tǒng)的四步移相算法作為本課題的相位提取算法。同時(shí)采用離散余弦最小二乘相位解包算法處理得到了波面解包裹相位圖