基于斐索干涉儀的納米測量機測頭的開發(fā).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著納米技術(shù)的發(fā)展,人們越來越需要測量和操縱很小的部件。以掃描隧道顯微鏡(STM)和原子力顯微鏡(AFM)為代表的掃描探針技術(shù)的出現(xiàn)適應(yīng)了這個要求。但是,由于用作掃描器的材料——壓電陶瓷自身特性的限制,使得儀器的掃描范圍不能做得很大,一般不超過幾百μm,這大大限制了掃描探針技術(shù)的應(yīng)用范圍。因此,能實現(xiàn)大范圍、高精度移動和定位的納米測量機將是未來微/納領(lǐng)域不可或缺的工具。 納米測量機主要由定位平臺和測頭兩部分組成,通過配合不同類型

2、的傳感測頭,實現(xiàn)不同方式的測量。本文以現(xiàn)有德國SIS測頭為對象,基于一種新型的納米測量和定位機平臺,研究和開發(fā)一種基于斐索干涉儀的納米測量機測頭。根據(jù)測頭信號檢測的要求,設(shè)計了信號處理,采集電路以及上位機軟件。 本論文的具體工作包括: (1)設(shè)計測頭的機械部分,包括壓電陶瓷管的選擇;探針夾持器的設(shè)計,探針的選用。 (2)基于光纖干涉法的斐索干涉儀光路的設(shè)計與搭建。包括激光器、光纖、分束鏡的選擇,微懸臂梁位移與光信

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