已閱讀1頁,還剩66頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀
版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、隨著納米技術(shù)的發(fā)展,人們越來越需要測量和操縱很小的部件。以掃描隧道顯微鏡(STM)和原子力顯微鏡(AFM)為代表的掃描探針技術(shù)的出現(xiàn)適應(yīng)了這個要求。但是,由于用作掃描器的材料——壓電陶瓷自身特性的限制,使得儀器的掃描范圍不能做得很大,一般不超過幾百μm,這大大限制了掃描探針技術(shù)的應(yīng)用范圍。因此,能實現(xiàn)大范圍、高精度移動和定位的納米測量機將是未來微/納領(lǐng)域不可或缺的工具。 納米測量機主要由定位平臺和測頭兩部分組成,通過配合不同類型
2、的傳感測頭,實現(xiàn)不同方式的測量。本文以現(xiàn)有德國SIS測頭為對象,基于一種新型的納米測量和定位機平臺,研究和開發(fā)一種基于斐索干涉儀的納米測量機測頭。根據(jù)測頭信號檢測的要求,設(shè)計了信號處理,采集電路以及上位機軟件。 本論文的具體工作包括: (1)設(shè)計測頭的機械部分,包括壓電陶瓷管的選擇;探針夾持器的設(shè)計,探針的選用。 (2)基于光纖干涉法的斐索干涉儀光路的設(shè)計與搭建。包括激光器、光纖、分束鏡的選擇,微懸臂梁位移與光信
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 基于斐索干涉儀的數(shù)字波面干涉技術(shù)研究.pdf
- 基于斐索干涉儀的光纖位移傳感器的研究.pdf
- 納米測量機三維微觸覺測頭開發(fā).pdf
- 斐索型移相式激光干涉儀研究.pdf
- 三坐標測量機測頭的誤差校準
- 三坐標測量機光學(xué)測頭的標定.pdf
- 雙頻激光干涉儀測量
- 用于納米測量激光干涉儀的實用化研究.pdf
- 激光干涉儀測量原理
- 激光合成波長納米位移測量干涉儀的研制.pdf
- 多座標測量機用動態(tài)測頭的研究.pdf
- 基于Fizeau干涉儀的測風(fēng)激光雷達的研究.pdf
- 移相式斐索中波紅外干涉儀關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用研究.pdf
- 外文翻譯---三坐標測量機測頭的誤差校準
- 新型激光多普勒測振干涉儀的研究.pdf
- φ600mm近紅外相移斐索干涉儀校準及測試技術(shù)研究.pdf
- 基于三坐標測量機新型非接觸激光跟蹤測頭的研究.pdf
- CXM100-2W移相式斐索干涉儀關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 正等測-雙頻激光干涉儀.dwg
- 正等測-雙頻激光干涉儀.dwg
評論
0/150
提交評論