干涉儀測(cè)量的光強(qiáng)控制與抗振技術(shù)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、移相干涉術(shù)是以光波波長(zhǎng)為單位的非接觸式高精度測(cè)量技術(shù)，為了使大小各異的被測(cè)元件產(chǎn)生的干涉條紋尺寸大小一致而引入了變焦鏡頭，從而不可避免地導(dǎo)致干涉條紋亮暗不均勻和照度改變的問(wèn)題，最終影響測(cè)量精度。由于移相干涉術(shù)對(duì)振動(dòng)比較敏感，干涉儀通常放在實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行測(cè)量，這就大大限制了干涉儀的用途。為了解決上述問(wèn)題，本文著重對(duì)光強(qiáng)的自動(dòng)調(diào)節(jié)和干涉儀抗振進(jìn)行了研究。 根據(jù)光強(qiáng)是否在CCD線性響應(yīng)區(qū)間這一結(jié)果來(lái)控制電機(jī)帶動(dòng)濾光片轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)光強(qiáng)的自

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