移相干涉儀中主動(dòng)抗振及電器集成控制技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、移相干涉術(shù)是一種高精度、高靈敏度的光學(xué)測試方法,極易受外界振動(dòng)的影響,為解決光干涉測試中的振動(dòng)問題,該文在比較了國內(nèi)外干涉抗振技術(shù)后,提出了采用光外差干涉測量振動(dòng),以PZT為振動(dòng)補(bǔ)償元件的主動(dòng)抗振方案;詳細(xì)討論了抗振方案的原理、電路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)制作、DSP的程序編制;最后進(jìn)行了抗振實(shí)驗(yàn).實(shí)驗(yàn)表明在50Hz·λ以下的振動(dòng)條件下,電路系統(tǒng)能在驅(qū)動(dòng)PZT進(jìn)行振動(dòng)補(bǔ)償?shù)耐瑫r(shí)實(shí)現(xiàn)移相,計(jì)算結(jié)果和沒有振動(dòng)時(shí)一致.數(shù)字波面干涉儀是集光、機(jī)、電、算于一體

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