光學(xué)表面疵病檢測系統(tǒng)及圖像處理技術(shù)研究.pdf

1、光學(xué)元件表面的疵病對整個光學(xué)系統(tǒng)的運行會產(chǎn)生很大的影響，在元件制作加工中任何一點不當(dāng)?shù)奶幚矶伎赡軙斐杀砻娲貌。詫鈱W(xué)元件表面疵病檢測的研究就顯得很有意義。
　　為了對元件表面疵病進(jìn)行深入地研究，本文設(shè)計了一套光學(xué)元件表面疵病檢測系統(tǒng)，搭建了數(shù)字CCD顯微散射暗場成像及圖像采集和計算機處理平臺。根據(jù)光學(xué)元件表面疵病對光的散射特性，采用成像法檢測疵病的原理，利用激光分區(qū)域照射元件表面，由數(shù)字CCD采集元件表面的疵病圖像，送入計算

2、機進(jìn)行存儲。在拼接算法上提出了一種改進(jìn)的多層次分區(qū)域的基于特征分類的圖像拼接算法，把待拼接的子孔徑疵病圖像進(jìn)行特征分類，針對不同的疵病特征用不同的方法進(jìn)行拼接，再把較小的圖像塊拼接成較大的圖像塊直至得到大口徑圖像，類似于區(qū)域生長的過程，然后利用數(shù)字圖像處理技術(shù)對疵病圖像進(jìn)行圖像增強，濾波以及二值化的預(yù)處理，最后對疵病特征進(jìn)行提取識別與像素定位，從而完成對大口徑疵病圖像的檢測。
　　與傳統(tǒng)的檢測方法相比，本系統(tǒng)具有檢測范圍廣，拼接效