超光滑表面疵病檢測與圖像處理技術的研究.pdf

1、本文主要研究了受中國航天電子技術研究院委托所研制的超低損耗陀螺光腔專用調節(jié)設備，其實質是設計一套超光滑表面元件疵病檢測系統(tǒng)。針對本系統(tǒng)中的硬件結構設計和圖像處理技術，本文進行了以下幾方面的研究:
　　在超光滑表面疵病檢測系統(tǒng)的硬件方面，搭建了一套數(shù)字CCD顯微激光散射暗場成像及圖像采集和計算機處理系統(tǒng)，為對細微疵病進行分辨，研究了對超光滑反射鏡進行360°旋轉的全方位疵病成像，研究了對待測元件的掃描式成像，獲得了適于計算機進行圖像

2、處理的子孔徑疵病圖像。在全孔徑疵病圖像的拼接方面，研究了項目中所運用的快速平移拼接算法，考慮到其它類型疵病的特征以及提高圖像拼接的準確度，研究了基于圖像重疊區(qū)域疵病特征相關性的匹配拼接算法。針對全孔徑疵病圖像的逆旋轉歸位研究了適于項目檢測的以圖像任意一點為旋轉中心進行旋轉的算法，最后以或運算的方式將逆旋轉后的全孔徑疵病圖像進行疊加。在對疵病信息進行提取和定位方面，首先研究了對疵病圖像進行噪聲濾波、二值化增強以及數(shù)學形態(tài)學操作的預處理，并