不確定環(huán)境下半導(dǎo)體制造系統(tǒng)瓶頸預(yù)測(cè)與調(diào)度方法研究.pdf

1、半導(dǎo)體制造系統(tǒng)具有大規(guī)模，高度不確定性，生產(chǎn)工藝復(fù)雜，約束復(fù)雜，多目標(biāo)等綜合復(fù)雜性，在市場(chǎng)需求快速變化和全球化經(jīng)濟(jì)競(jìng)爭(zhēng)加劇情況下，如何對(duì)半導(dǎo)體制造系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)度與優(yōu)化已經(jīng)成為亟待解決的問題。瓶頸設(shè)備是制約制造系統(tǒng)的產(chǎn)出率、加工時(shí)間、準(zhǔn)時(shí)交貨率等性能指標(biāo)的關(guān)鍵因素。迄今，國內(nèi)外在研究基于瓶頸的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)調(diào)度已經(jīng)取得了一些理論與應(yīng)用成果，但是這類調(diào)度方法大多為基于單瓶頸或靜態(tài)瓶頸預(yù)測(cè)，難以適應(yīng)半導(dǎo)體制造系統(tǒng)多瓶頸動(dòng)態(tài)漂移的環(huán)境。本文以半導(dǎo)

2、體制造系統(tǒng)瓶頸為核心，重點(diǎn)研究瓶頸判定，預(yù)測(cè)與調(diào)度問題，為解決半導(dǎo)體生產(chǎn)調(diào)度問題提供新思路。本文圍繞半導(dǎo)體制造系統(tǒng)瓶頸設(shè)備展開如下研究:
　　 (1)針對(duì)半導(dǎo)體制造系統(tǒng)產(chǎn)品種類、批次、到達(dá)時(shí)間等不確定性的特性，研究一種基于生產(chǎn)負(fù)荷與外部特征的瓶頸判定方法與一種基于滾動(dòng)時(shí)域的瓶頸預(yù)測(cè)判定方法，為后續(xù)基于瓶頸設(shè)備的調(diào)度奠定基礎(chǔ)。
　　 (2)針對(duì)半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中積累大量的歷史數(shù)據(jù)與實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)（數(shù)值型數(shù)據(jù)與符號(hào)型數(shù)據(jù)），研究一種

3、改進(jìn)的自適應(yīng)模糊推理系統(tǒng)與滾動(dòng)時(shí)域相結(jié)合的瓶頸預(yù)測(cè)方法。根據(jù)歷史數(shù)據(jù)構(gòu)建瓶頸設(shè)備預(yù)測(cè)模型，結(jié)合滾動(dòng)時(shí)域機(jī)制，預(yù)測(cè)未來時(shí)間窗內(nèi)系統(tǒng)瓶頸設(shè)備。
　　 (3)在瓶頸預(yù)測(cè)的基礎(chǔ)上，以最大化產(chǎn)量，瓶頸設(shè)備利用率及均衡生產(chǎn)線層負(fù)荷為目標(biāo)，研究一種基于滾動(dòng)時(shí)域與復(fù)合優(yōu)先級(jí)的動(dòng)態(tài)調(diào)度方法。動(dòng)態(tài)調(diào)度方法包括動(dòng)態(tài)在制品水平的投料策略和基于滾動(dòng)時(shí)域和分層的復(fù)合優(yōu)先級(jí)調(diào)度算法。
　　 將本文的瓶頸預(yù)測(cè)及調(diào)度方法應(yīng)用到應(yīng)用于半導(dǎo)體仿真模型中，大量