半導體制造系統(tǒng)生產(chǎn)調度建模及優(yōu)化策略研究.pdf

1、半導體制造過程具有工藝流程復雜、工序多、不確定性強等顯著區(qū)別于其它制造行業(yè)的特點,隨著半導體產(chǎn)業(yè)朝著多品種、小批量的方向發(fā)展,有效的半導體制造系統(tǒng)生產(chǎn)調度能快速響應市場要求、提高產(chǎn)出率、提高準時交貨率,在激烈的產(chǎn)業(yè)競爭中具有重要的作用。本文利用特征Petri網(wǎng)建立半導體制造系統(tǒng)生產(chǎn)調度模型,并對半導體制造系統(tǒng)生產(chǎn)調度優(yōu)化策略進行了研究。
　　 提出了基于特征Petri網(wǎng)模型的嵌套分區(qū)優(yōu)化調度算法,通過改進的嵌套分區(qū)算法對建立的特

2、征Petri網(wǎng)模型的變遷觸發(fā)序列進行搜索,得到優(yōu)化調度問題解,該方法不僅能充分利用Petri模型易于描述制造系統(tǒng)的復雜特征及狀態(tài)變化關系,而且基于特征Petri網(wǎng)模型的嵌套分區(qū)優(yōu)化調度算法能較好地將局部搜索和全局搜索結合,同時本文在嵌套分區(qū)算法的回溯階段提出利用回溯閾來有效減少算法的回溯次數(shù),提高算法的搜索效率。
　　 由于半導體制造系統(tǒng)的復雜性,在制造系統(tǒng)同一調度周期內采用單一調度策略難以取得令人滿意的效果,本文將半導體制造系

3、統(tǒng)生產(chǎn)調度單個制造周期分成若干時間段,并在每一個時間段內利用改進差分進化算法來優(yōu)化制造系統(tǒng)機器組的調度規(guī)則組合；同時,系統(tǒng)中各機器組負載差異很大,根據(jù)機器組的利用率將半導體制造系統(tǒng)的機器組分為瓶頸機器組和非瓶頸機器組,通過改進差分進化算法對瓶頸機器組單獨編碼,而將非瓶頸機器組合并為一個機器組單元進行編碼,該編碼策略與對所有機器組同等編碼的傳統(tǒng)策略相比,能有效提高算法的尋優(yōu)效果。
　　 半導體制造系統(tǒng)爐管區(qū)機器批調度對系統(tǒng)調度性能