基于離散事件仿真的半導體生產(chǎn)系統(tǒng)建模與調(diào)度算法研究.pdf

1、半導體制造系統(tǒng)是公認的最復雜的生產(chǎn)系統(tǒng)之一。半導體晶圓生產(chǎn)調(diào)度與控制問題是比一般Flow Shop和Job Shop更復雜的第三類生產(chǎn)線控制問題。但由于半導體制造是高投資、高收益、高風險和競爭最為激烈的產(chǎn)業(yè)之一，對半導體生產(chǎn)線的建模與優(yōu)化成為近年來學術(shù)界和工程界研究的熱點。傳統(tǒng)的運籌學優(yōu)化方法很難求解這類NP-Hard問題，仿真建模是解決這類問題的重要方法。 因此本文圍繞離散事件仿真方法解決半導體生產(chǎn)系統(tǒng)調(diào)度問題而展開。本文的主

2、要工作如下： 1. 綜述了近十年來半導體生產(chǎn)線的建模與調(diào)度研究現(xiàn)狀,并討論了各種方法的實現(xiàn)細節(jié)及可實用性。 2. 詳細研究了離散事件動態(tài)系統(tǒng)，包括基本理論、仿真鐘的推進及仿真策略、建模方法等。 3. 用VC++為開發(fā)工具，利用面向?qū)ο蠹夹g(shù)和離散事件仿真方法，基于SEMATECH的標準半導體晶圓生產(chǎn)數(shù)據(jù)，實現(xiàn)了半導體生產(chǎn)調(diào)度仿真系統(tǒng)，并對現(xiàn)有常用的多種調(diào)度和投料算法策略進行了仿真研究。 4.對調(diào)度和投料算法