可重入半導體生產(chǎn)線的仿真與調度.pdf

1、半導體生產(chǎn)線作為半導體制造系統(tǒng)的重要組成部分，其調度策略的好壞與生產(chǎn)線設備的利用率、產(chǎn)品的生產(chǎn)時間和生產(chǎn)線的效率等密切相關。對一組任務可能存在幾種調度方案，因此如何確定調度方案的優(yōu)劣就需要計算機仿真來實現(xiàn)。 半導體制造系統(tǒng)存在可重入現(xiàn)象，即工件在工藝流程的不同階段使用同一臺設備進行加工，半導體生產(chǎn)線因此被稱為第三類系統(tǒng)。由于存在重入，加劇了工件對設備使用權的競爭，致使工件等待加工的時間相應增加，這給半導體生產(chǎn)線的調度帶來了極大的

2、困難，僅靠某個單一的調度策略,很難實現(xiàn)對生產(chǎn)線的良好控制。較有效的辦法是將各種控制與調度策略及模型有機地集成在一起,并用仿真建模的方法來驗證調度方案的優(yōu)劣，從而對生產(chǎn)線進行有效地控制。本文就是基于這一目的應用仿真方法求解可重入半導體生產(chǎn)線的調度問題，主要完成了以下幾個方面的工作： 1.在與傳統(tǒng)的Flow-shop及Job-shop對比的基礎上，根據(jù)半導體生產(chǎn)的流程和半導體生產(chǎn)線的特點，分析總結出半導體生產(chǎn)線調度規(guī)則與Flow-

3、shop及Job-shop調度規(guī)則的不同。 2.討論了離散事件的仿真算法，為實現(xiàn)半導體生產(chǎn)車間的仿真提供了基礎。 3.以C++為開發(fā)工具，利用面向對象技術和離散事件仿真方法，基于SEMATECH的標準半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)，實現(xiàn)了半導體生產(chǎn)仿真系統(tǒng)。通過對幾種投料策略和派工規(guī)則進行交叉仿真和仿真結果分析，歸納總結出它們各自的優(yōu)缺點和實用場合，并提出了改善意見。 4.在介紹遺傳算法的基礎上，針對半導體生產(chǎn)線可重入的特