基于Petri網(wǎng)與免疫算法的半導(dǎo)體生產(chǎn)線建模與優(yōu)化調(diào)度.pdf

1、半導(dǎo)體制造過程是世界上最復(fù)雜的制造過程之一，具有可重入、大規(guī)模、混合加工方式、多產(chǎn)品、不確定性等特點，這給建模和調(diào)度帶來了很大的困難。本文主要探索半導(dǎo)體制造過程新的建模方法以及解決調(diào)度難題的新途徑。 針對半導(dǎo)體生產(chǎn)線調(diào)度復(fù)雜、難以優(yōu)化的問題，本文提出了一種基于層次有色賦時Petri網(wǎng)技術(shù)和免疫算法相結(jié)合的優(yōu)化調(diào)度方法。該方法利用層次化的方法結(jié)合自頂向下建模方法對半導(dǎo)體生產(chǎn)線進行模塊化建模，模型不僅能夠反映生產(chǎn)線的待加工產(chǎn)品的多條

2、加工路徑及其資源約束，還可以對系統(tǒng)的設(shè)備維護、各種優(yōu)先級等特性進行描述，得到對生產(chǎn)系統(tǒng)更完善更精確的刻畫。在模型運行之前，隨機生成免疫算法種群，其中免疫算法編碼中同時考慮工件選設(shè)備規(guī)則、批加工調(diào)度規(guī)則和單件加工設(shè)備規(guī)則等因素得到更加有效的調(diào)度規(guī)則集，提高了模型的優(yōu)化程度。模型根據(jù)染色體編碼中對應(yīng)的規(guī)則進行調(diào)度，通過仿真得到優(yōu)化的規(guī)則組合。在此基礎(chǔ)上，對實際半導(dǎo)體生產(chǎn)線的不同調(diào)度方案分別進行了仿真，并把仿真結(jié)果進行了比較，從而驗證了建模方