基于Petri網與免疫算法的半導體生產線建模與優(yōu)化調度.pdf

1、半導體制造過程是世界上最復雜的制造過程之一，具有可重入、大規(guī)模、混合加工方式、多產品、不確定性等特點，這給建模和調度帶來了很大的困難。本文主要探索半導體制造過程新的建模方法以及解決調度難題的新途徑。 針對半導體生產線調度復雜、難以優(yōu)化的問題，本文提出了一種基于層次有色賦時Petri網技術和免疫算法相結合的優(yōu)化調度方法。該方法利用層次化的方法結合自頂向下建模方法對半導體生產線進行模塊化建模，模型不僅能夠反映生產線的待加工產品的多條

2、加工路徑及其資源約束，還可以對系統(tǒng)的設備維護、各種優(yōu)先級等特性進行描述，得到對生產系統(tǒng)更完善更精確的刻畫。在模型運行之前，隨機生成免疫算法種群，其中免疫算法編碼中同時考慮工件選設備規(guī)則、批加工調度規(guī)則和單件加工設備規(guī)則等因素得到更加有效的調度規(guī)則集，提高了模型的優(yōu)化程度。模型根據(jù)染色體編碼中對應的規(guī)則進行調度，通過仿真得到優(yōu)化的規(guī)則組合。在此基礎上，對實際半導體生產線的不同調度方案分別進行了仿真，并把仿真結果進行了比較，從而驗證了建模方