基于半導(dǎo)體制造業(yè)的生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng).pdf

1、半導(dǎo)體制造投資巨大，尤其是設(shè)備成本極其昂貴，因此，如何提高設(shè)備利用率一直是企業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織在其制度的SEMI標(biāo)準(zhǔn)中提供了一種很好的計(jì)算設(shè)備效率的方法，稱為設(shè)備整體效率。設(shè)備整體效率是一個(gè)獨(dú)立的測(cè)量工具，它用來(lái)表現(xiàn)實(shí)際的生產(chǎn)能力相對(duì)于理論產(chǎn)能的比率，它考慮了設(shè)備所有的運(yùn)行情況，計(jì)算方便準(zhǔn)確，彌補(bǔ)了傳統(tǒng)計(jì)算效率方法的不足，得到了廣泛的應(yīng)用。但是從目前來(lái)看，獲得設(shè)備整體效率中的某些參數(shù)不準(zhǔn)確，且費(fèi)時(shí)費(fèi)力，所以本文主要針

2、對(duì)這個(gè)情況設(shè)計(jì)了一個(gè)生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng)來(lái)解決這個(gè)問題。
　　本文所研究的生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng)的主要功能是為工業(yè)工程部門計(jì)算設(shè)備整體效率提供重要參數(shù)，即設(shè)備每小時(shí)的理論產(chǎn)量。本文分析了工業(yè)工程部門在估算產(chǎn)能方面的職能，半導(dǎo)體的行業(yè)背景，半導(dǎo)體技術(shù)及發(fā)展趨勢(shì)，半導(dǎo)體制造流程以及半導(dǎo)體相關(guān)的計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)。接下來(lái)，本文在分析生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng)主要功能的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)研究的是生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng)的架構(gòu)、主要功能模塊、采用的關(guān)鍵技術(shù)。

3、最后，本文以具體設(shè)備為例分析了生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng)是如何通過數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)分析、數(shù)據(jù)導(dǎo)入、數(shù)據(jù)計(jì)算這四個(gè)模塊得出設(shè)備的每小時(shí)理論產(chǎn)量，并說(shuō)明其具體應(yīng)用。
　　生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)能跟蹤系統(tǒng)的應(yīng)用，為計(jì)算設(shè)備整體效率提供了有效數(shù)據(jù)，為監(jiān)控全廠設(shè)備的使用情況提供了實(shí)時(shí)、全面的數(shù)據(jù)，并且大大減少了人為的數(shù)據(jù)收集、數(shù)據(jù)分析的工作量。企業(yè)因此可以輕松的找到影響生產(chǎn)效率的瓶頸，將關(guān)注點(diǎn)放于重點(diǎn)設(shè)備并進(jìn)行改進(jìn)和跟蹤，達(dá)到提高生產(chǎn)效率的目的，同時(shí)使公司避免