半導體制造業(yè)含氟廢物處理及綜合利用的研究.pdf

1、半導體集成電路行業(yè)是一個國家信息產業(yè)發(fā)展的基礎，該行業(yè)在未來將會有迅猛的發(fā)展。隨著制造規(guī)模的不斷擴大，其制造活動對環(huán)境所造成的影響也會日益增加。芯片制造企業(yè)水平各有特色，創(chuàng)建符合行業(yè)特色的切實可行的生產廢水廢物的處理模式，對保護環(huán)境，促進生產都有著深遠的影響。
　　半導體集成電路行業(yè)制程需要使用幾百種化學品，廢水廢氣處置工藝要求極高。在生產過程中含氟廢水產生量最大，目前國內企業(yè)基本以達標排放或填埋為目標進行處置。氟作為一種化學品既

2、具有毒性會污染環(huán)境，又是社會生產生活中必不可缺的社會資源。簡單的以達標排放為目的的處置方式不能滿足半導體集成電路行業(yè)實現綠色生產保護環(huán)境的目標。本文通過工程試驗方式將找出適合半導體集成電路行業(yè)含氟廢水的最佳處理方法并且最終實現了含氟廢物的綜合利用。本文主要兩方面研究內容如下:
　　(1)對半導體集成電路行業(yè)生產過程所產生的含氟廢水處理進行研究，通過分析現有的3種處理方法，找出石灰絮凝沉淀法是該行業(yè)最佳處理方法。對比傳統研究石灰2.

3、0-2.5倍的投加方式，提出先加硫酸然后投加1.2倍左右石灰的新方式，并通過單因素實驗獲得更優(yōu)化的反應條件:石灰投加理論計算量1.2倍左右，pH=8.5，PAC投加質量濃度為500mg/L。工程應用證明在這些參數的操作下，廢水不僅能夠達到一級水排放標準，長期監(jiān)測顯示氟含量能夠控制在10mg/L。且該方法投藥量降低一半以上，同時末端的含氟污泥也有顯著降低，無論從運行成本還是處理成本上都將有良好的經濟效益。
　　(2)在對含氟廢水處理

4、后所產生的污泥進行深入研究，通過實驗證明該含氟廢物對環(huán)境存才極大危害，同時又具備相當大的社會價值。在成功研究含氟廢水的基礎上，對廢水處理后所產生的含氟污泥進行有效研究，綜述了現有的氟化鈣污泥處理處置技術，包括直接應用，充當幾種其它工業(yè)原料以及利用其化學性質等。通過對半導體行業(yè)產生的氟化鈣的物質分析，確定該物質替代螢石在水泥生產中作為原料使用為最佳方案，通過和水泥廠的合作試驗證明氟化鈣資源化利用切實可行，最終通過工程應用不僅實現了廢物資源