半導(dǎo)體制造測(cè)試單元的產(chǎn)能規(guī)劃.pdf

1、全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)日趨成熟,尤其是日、美、西歐等先進(jìn)國(guó)家和地區(qū)已經(jīng)進(jìn)入穩(wěn)定的半導(dǎo)體增長(zhǎng)時(shí)期,較之以前人們把目光更多的集中在產(chǎn)品技術(shù)的更新?lián)Q代上,如何不斷縮短半導(dǎo)體產(chǎn)品的設(shè)計(jì)周期,實(shí)現(xiàn)更多個(gè)性化功能,并將產(chǎn)品快速投入市場(chǎng)以滿足客戶需求已成為各大半導(dǎo)體制造商競(jìng)相追逐的目標(biāo)。因此產(chǎn)能規(guī)劃在整個(gè)半導(dǎo)體營(yíng)運(yùn)過程中起著極為重要的作用。
　　產(chǎn)能規(guī)劃問題長(zhǎng)期以來(lái)一直是半導(dǎo)體制造業(yè)中最重要和最困難的問題之一。因?yàn)槠湟笤趶?fù)雜的制造流程中準(zhǔn)確預(yù)測(cè)在制品

2、的走勢(shì),同時(shí)還必須考慮各設(shè)備的實(shí)時(shí)制造能力等約束條件。合理的產(chǎn)能規(guī)劃能夠避免千萬(wàn)美金的資本支出,降低運(yùn)營(yíng)成本、提高設(shè)備記憶人員的利用率,從而提高車間的生產(chǎn)效率,滿足終端客戶的需求。
　　本文重點(diǎn)解決的是半導(dǎo)體制造測(cè)試單元的產(chǎn)能規(guī)劃問題。建立設(shè)備靜態(tài)產(chǎn)能模型,通過優(yōu)化設(shè)備維護(hù)周期,提高了SORT設(shè)備探針移動(dòng)速度,從而提高了設(shè)備的生產(chǎn)能力9％;通過增加設(shè)備運(yùn)行中的平行作業(yè)的重疊時(shí)間來(lái)改善設(shè)備利用率;在不影響質(zhì)量的前提下,兼顧工程試驗(yàn),

3、質(zhì)量,設(shè)備能力和設(shè)備產(chǎn)能,合理的安排設(shè)備的停機(jī)進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)和工程實(shí)驗(yàn)的時(shí)間。通過上述綜合措施,對(duì)設(shè)備產(chǎn)能進(jìn)行最大化的改善,實(shí)施結(jié)果表明SORT設(shè)備產(chǎn)能在生產(chǎn)線滿負(fù)荷運(yùn)行狀態(tài)下從159.4片/周,提高到228.2片/周,產(chǎn)能提升了43.1%。
　　基于離散型仿真技術(shù)理論,建立生產(chǎn)系統(tǒng)在制品預(yù)測(cè)仿真系統(tǒng)WFS(Work-In-ProcessForecast System)。該系統(tǒng)根據(jù)設(shè)備實(shí)時(shí)狀態(tài)而進(jìn)行動(dòng)態(tài)預(yù)測(cè)在制品走勢(shì),較之最傳統(tǒng)的

4、按照前段投片量預(yù)測(cè)流入SORT的在制品數(shù)量,以及靜態(tài)STCM(短期產(chǎn)能模型),動(dòng)態(tài)在制品預(yù)測(cè)在準(zhǔn)確性上得到了大大的提高。通過對(duì)比我們可以發(fā)現(xiàn),WFS對(duì)于在制品走勢(shì)預(yù)測(cè)的動(dòng)態(tài)預(yù)測(cè)偏差一般能夠控制在15%以內(nèi),準(zhǔn)確性相比其他方法得到了大大的提升,通過更準(zhǔn)確地在制品走勢(shì)預(yù)測(cè)建立動(dòng)態(tài)模擬,計(jì)算測(cè)試單元的產(chǎn)能需求,最后通過產(chǎn)能改善,找出各種產(chǎn)能需求下的最佳解決方案。
　　論文研究與實(shí)踐為半導(dǎo)體制造公司的生產(chǎn)線產(chǎn)能規(guī)劃提供了有效地理論支持和實(shí)