CIGS薄膜太陽能電池窗口層以及透明導(dǎo)電層的制備與研究.pdf

1、學(xué)校代碼10126分類號(hào)：論文題目學(xué)號(hào)：31446051編號(hào)：——13IGS薄膜太陽能電池窗口層以及透明導(dǎo)電層的制備與研究學(xué)院：物堡科堂皇撞丕專業(yè)：電壬皇適值王程研究方向：坐昱佳光迭技本姓名：登莖指導(dǎo)教師：王塹苤副熬拯2016年5月30日CIGS薄膜太陽能電池窗口層以及透明導(dǎo)電層的制備與研究摘要CIGS薄膜太陽能電池具有獨(dú)特的優(yōu)異性，現(xiàn)在其己然成為各國(guó)科研工作者的研究對(duì)象。由于CIGS薄膜太陽能電池透明導(dǎo)電層以及窗口層對(duì)電池性能有較大影

2、響作用，最近幾年科研工作者也是對(duì)其做了大量的研究。本文利用磁控濺射的方法制備了ZnO窗口層、ZnO摻A1(AZO)透明導(dǎo)電層和ZnO及AZO疊層，研究了濺射功率、濺射氣壓等工藝參數(shù)對(duì)薄膜光電學(xué)特性的影響規(guī)律，旨在制備出符合CIGS薄膜太陽能電池要求的透明導(dǎo)電層以及窗口層。分別采用XRD、SEM、EDAX、紫外一可見近紅外分光光度計(jì)，四探針測(cè)試儀，等分析了薄膜的物相結(jié)構(gòu)、表面形貌、截面形貌、化學(xué)元素成分、厚度、光的透過率、電阻率等性能。結(jié)

3、果表明：氧化鋅及氧化鋅摻鋁薄膜都沿(002)晶面擇優(yōu)生長(zhǎng)，其光的透過率在400hi／1至1400illn之間達(dá)到了85％以上，氧化鋅薄膜由于摻雜鋁其電阻率顯著下降達(dá)到了10。量級(jí)。ZnO及AZO的表面及截面形貌都生長(zhǎng)良好，并從其截面看出氧化鋅的薄膜厚度在200nin左右，氧化鋅摻鋁薄膜的厚度在600nm左右。研究疊層薄膜發(fā)現(xiàn)：ZnO工作氣壓16Pa，濺射功率80W，濺射時(shí)間5分鐘，AZO薄膜工作氣壓18Pa，濺射功率105W，濺射時(shí)間2