直線擺動(dòng)方式磁流變平整加工工藝研究.pdf

1、隨著光學(xué)技術(shù)的發(fā)展，具有超光滑表面的平面光學(xué)元件應(yīng)用越來(lái)越廣，傳統(tǒng)拋光技術(shù)大多存在效率低，加工質(zhì)量難以控制，難以滿足大批量、低成本、高質(zhì)量的生產(chǎn)需求。
　　磁流變拋光以其獨(dú)特的加工原理，在光學(xué)玻璃加工領(lǐng)域發(fā)展迅速。傳統(tǒng)輪式磁流變拋光能在達(dá)到高面型精度的同時(shí)獲得較低的表面粗糙度，但是加工效率低。本課題組提出了一種大拋光模高效率的磁流變平整加工工藝。但是加工后工件表面平整度有待提高。針對(duì)這一問(wèn)題本文在原有基礎(chǔ)上增加工件的直線擺動(dòng)以改善

2、工件表面平整度。具體研究工作如下:
　　(1)建立工件與磨粒之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡方程。依據(jù)實(shí)際加工情況，規(guī)定只有工件表面與研拋模相互作用時(shí)為有效加工，采用離散積分的方式求得工件表面?zhèn)€點(diǎn)在不同擺動(dòng)形式下有效加工軌跡長(zhǎng)度。通過(guò)分析有效加工軌跡長(zhǎng)度可以初步預(yù)測(cè)到X-X直線擺動(dòng)形式可以改善工件表面的平整度。
　　(2)利用自行搭建的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)進(jìn)行工藝實(shí)驗(yàn)。通過(guò)單因素實(shí)驗(yàn)，研究直線擺動(dòng)方式、直線擺動(dòng)距離、直線擺動(dòng)速度、工件轉(zhuǎn)速、加工間隙、