射頻LDMOS內匹配技術研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代通信技術發(fā)展，對微波功率器件要求越來越高。RF-LDMOS是近年發(fā)展起來的微波功率器件，但是由于其獨特的結構和性能優(yōu)勢，RF-LDMOS從眾多微波功率器件中脫穎而出。為了滿足移動通信基站和軍事雷達的需求，RF-LDMOS向著更高工作頻率、更大輸出功率方向發(fā)展。但是，隨著工作頻率提高，各種寄生參數影響已再無法忽略。RF-LDMOS采用多柵指或多胞并聯(lián)技術來增大輸出功率，這就有可能因加工工藝、加工材料造成柵指之間或胞與胞之間信號傳輸

2、不一致，致使能量損耗增加，甚至燒毀器件。還有隨著柵寬增加，輸入輸出端阻抗會逐漸降低，輸入輸出阻抗過低會給外匹配電路設計增加難度。而采用內匹配技術可有效解決這些問題。在此背景下，提出對RF-LDMOS內匹配技術進行研究。
　　本文主要圍繞工作頻率為1.2GHz-1.4GHz RF-LDMOS內匹配技術展開研究。通過查閱文獻，了解到國內外內匹配技術發(fā)展情況及其具體設計方法。在進行內匹配網絡設計之前，必須確定管芯輸入輸出端阻抗。射頻大信

3、號模型雖然相對準確，但是短時間內實現(xiàn)建模比較困難。負載牽引技術更多地是測試已匹配封裝的RF-LDMOS器件。On Wafer測試主要應用于小柵寬器件。綜合各方面情況，最終選擇基于小信號S參數理論，通過提參去嵌求出無匹配封裝RF-LDMOS管芯S參數，然后在進行設計內匹配網絡。為了更好地實現(xiàn)去參，利用HFSS軟件對封裝管殼、鍵合引線、MOS電容進行建模仿真。
　　最后，根據匹配電路設計理論，結合RF-LDMOS工作環(huán)境，選擇合適內匹