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文檔簡介
1、近年來基于硅材料制作先進(jìn)微通道板成為國內(nèi)外各研究熱點(diǎn)，其高深寬比、高增益低噪聲、高分辨、低功耗等特點(diǎn)被廣泛應(yīng)用在高靈敏離子探測器、高靈敏傳感器、X射線增強(qiáng)及微光夜視成像等領(lǐng)域中。目前，國內(nèi)還沒有相關(guān)研究機(jī)構(gòu)完成硅微通道板電子倍增器的研制。本文通過實(shí)驗(yàn)研究對硅微通道板制備工藝環(huán)節(jié)中的化學(xué)機(jī)械拋光和氧化絕緣技術(shù)進(jìn)行優(yōu)化改進(jìn)，其主要包括以下幾方面：
?。?）利用真空填蠟的方法完善了微通道結(jié)構(gòu)化學(xué)機(jī)械拋光工藝問題，通過實(shí)驗(yàn)研究優(yōu)化工藝，
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