液滴噴射靶的檢測(cè)和分析系統(tǒng).pdf

1、為了制造出集成度更高的芯片，下一代光刻技術(shù)要求更短波長(zhǎng)的極紫外（EUV）光源，激光等離子體（LPP）技術(shù)目前被認(rèn)為是最可能的選擇。在研究和制備激光等離子體極紫外光源時(shí)，得到良好的錫液滴靶是其中重要的一步。錫液滴靶是通過(guò)振動(dòng)對(duì)射流進(jìn)行擾動(dòng)，使錫流連續(xù)均勻斷裂得到的。本論文實(shí)驗(yàn)?zāi)康脑谟诶盟鳛榘胁哪M錫液滴噴射的產(chǎn)生、控制和檢測(cè)，檢驗(yàn)出整個(gè)噴射靶發(fā)生器和檢測(cè)分析系統(tǒng)的實(shí)際可行性，從而為將來(lái)產(chǎn)生實(shí)用的錫液滴靶打下基礎(chǔ)。
　　本論文的主

2、要研究了一套用于激光等離子體極紫外光源的液滴噴射靶發(fā)生器和液滴檢測(cè)分析系統(tǒng)。液滴噴射靶發(fā)生裝置穩(wěn)定可靠，操作方便，噴射出的液滴能夠均勻穩(wěn)定斷裂。利用 LabVIEW軟件調(diào)用和控制 CCD攝像頭，通過(guò)調(diào)用動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)使CCD完成液滴圖像的采集和顯示，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)液滴的運(yùn)動(dòng)情況，再完成圖像的批量存儲(chǔ)。保存的液滴圖像將由 MATLAB軟件進(jìn)行分析計(jì)算，得到液滴尺寸、位置、間距等參數(shù)，可以定量地評(píng)估液滴噴射的質(zhì)量和穩(wěn)定性。實(shí)驗(yàn)比較了幾種類型噴嘴的噴射