2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、為了制造出集成度更高的芯片,下一代光刻技術(shù)要求更短波長的極紫外(EUV)光源,激光等離子體(LPP)技術(shù)目前被認(rèn)為是最可能的選擇。在研究和制備激光等離子體極紫外光源時(shí),得到良好的錫液滴靶是其中重要的一步。錫液滴靶是通過振動(dòng)對(duì)射流進(jìn)行擾動(dòng),使錫流連續(xù)均勻斷裂得到的。本論文實(shí)驗(yàn)?zāi)康脑谟诶盟鳛榘胁哪M錫液滴噴射的產(chǎn)生、控制和檢測,檢驗(yàn)出整個(gè)噴射靶發(fā)生器和檢測分析系統(tǒng)的實(shí)際可行性,從而為將來產(chǎn)生實(shí)用的錫液滴靶打下基礎(chǔ)。
  本論文的主

2、要研究了一套用于激光等離子體極紫外光源的液滴噴射靶發(fā)生器和液滴檢測分析系統(tǒng)。液滴噴射靶發(fā)生裝置穩(wěn)定可靠,操作方便,噴射出的液滴能夠均勻穩(wěn)定斷裂。利用 LabVIEW軟件調(diào)用和控制 CCD攝像頭,通過調(diào)用動(dòng)態(tài)鏈接庫使CCD完成液滴圖像的采集和顯示,實(shí)時(shí)監(jiān)測液滴的運(yùn)動(dòng)情況,再完成圖像的批量存儲(chǔ)。保存的液滴圖像將由 MATLAB軟件進(jìn)行分析計(jì)算,得到液滴尺寸、位置、間距等參數(shù),可以定量地評(píng)估液滴噴射的質(zhì)量和穩(wěn)定性。實(shí)驗(yàn)比較了幾種類型噴嘴的噴射

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