基于介質(zhì)上電潤(rùn)濕的數(shù)字微流控芯片研究.pdf

1、隨著微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical-Sy stem，MEMS）技術(shù)的發(fā)展，微流控芯片技術(shù)在集成化、自動(dòng)化、便攜化和高效化等方面展現(xiàn)出了巨大潛力，已成為當(dāng)前研究熱點(diǎn)和世界前沿科技之一。對(duì)微升級(jí)的液滴進(jìn)行生成、輸運(yùn)、分離、混合等操控是微流控各應(yīng)用功能的前提和基礎(chǔ)，目前最常用的微液滴操控方法之一是介電潤(rùn)濕法操控?；诮殡姖?rùn)濕法的微流控芯片技術(shù)在變焦微透鏡、蛋白質(zhì)分析、DNA連接、細(xì)胞操縱培養(yǎng)、生物醫(yī)療檢測(cè)等領(lǐng)域表

2、現(xiàn)出巨大優(yōu)勢(shì)，近年來關(guān)于它的研究與應(yīng)用領(lǐng)域一直在不斷地?cái)U(kuò)張與發(fā)展。
　　針對(duì)目前基于介電潤(rùn)濕微流控芯片的工作電壓較大以及微液滴操控靈活性差的特點(diǎn)，本文設(shè)計(jì)了一種基于新型疏水薄膜的微流控芯片，該芯片創(chuàng)新地使用硅烷化試劑制備微流控芯片的疏水薄膜，不僅降低了操控微液滴所需的工作電壓，而且微流控芯片的制作工藝流程與IC兼容。
　　論文首先考察了不同材料作為介質(zhì)層的介電潤(rùn)濕現(xiàn)象，對(duì)比不同介質(zhì)層的介電潤(rùn)濕效果。通過評(píng)價(jià)介質(zhì)層材料的介電潤(rùn)