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文檔簡介
1、隨著微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical-Sy stem，MEMS）技術(shù)的發(fā)展，微流控芯片技術(shù)在集成化、自動化、便攜化和高效化等方面展現(xiàn)出了巨大潛力，已成為當(dāng)前研究熱點和世界前沿科技之一。對微升級的液滴進(jìn)行生成、輸運、分離、混合等操控是微流控各應(yīng)用功能的前提和基礎(chǔ)，目前最常用的微液滴操控方法之一是介電潤濕法操控?；诮殡姖櫇穹ǖ奈⒘骺匦酒夹g(shù)在變焦微透鏡、蛋白質(zhì)分析、DNA連接、細(xì)胞操縱培養(yǎng)、生物醫(yī)療檢測等領(lǐng)域表
2、現(xiàn)出巨大優(yōu)勢，近年來關(guān)于它的研究與應(yīng)用領(lǐng)域一直在不斷地擴張與發(fā)展。
針對目前基于介電潤濕微流控芯片的工作電壓較大以及微液滴操控靈活性差的特點，本文設(shè)計了一種基于新型疏水薄膜的微流控芯片，該芯片創(chuàng)新地使用硅烷化試劑制備微流控芯片的疏水薄膜，不僅降低了操控微液滴所需的工作電壓，而且微流控芯片的制作工藝流程與IC兼容。
論文首先考察了不同材料作為介質(zhì)層的介電潤濕現(xiàn)象，對比不同介質(zhì)層的介電潤濕效果。通過評價介質(zhì)層材料的介電潤
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