微流控分析芯片的制作及流控特性研究.pdf

1、本文在介紹了微流控分析芯片的概念、優(yōu)點及局限性，綜述了其研究意義、國內外發(fā)展現狀，并預測了發(fā)展前景的基礎上，主要完成了以下工作： (1)從工藝角度詳細介紹了玻璃微流控分析芯片的制作技術，包括材料的選擇、微結構的設計、標準光刻、化學濕法刻蝕以及最終的鍵合。重點通過實驗比較分析了影響刻蝕結果的幾個主要因素，優(yōu)化了刻蝕條件，引入了兩種低溫/室溫鍵合技術；初步完成了玻璃微流控分析芯片的普通實驗室制作工藝摸索。 (2)介紹了微流控

2、分析芯片中微流體的動電驅動理論，通過對雙電層、電滲流等理論的分析，建立了微流體的二維動電驅動數學模型，并且推導出了Poisson-Boltzmann方程和Navier-Stokes方程的穩(wěn)態(tài)解析解；結合使用計算機仿真軟件Matlab對電滲勢場、近壁電滲勢場、電滲流流速、體積流量及壁面上的剪切應力進行了模擬仿真，分析了以上各研究對象分別與離子能量參數α、變量β的關系，驗證了動電驅動理論的正確性。 (3)使用自制的玻璃微流控分析芯片