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1、浙江大學(xué)信息學(xué)院碩士學(xué)位論文微流控芯片制作的研究及軟件模擬姓名：劉能申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：光學(xué)工程指導(dǎo)教師：何建軍20080505浙江大學(xué)碩士論文AbstractFabricatingthemicrofluidicmasterbysiliconisotropicwetetchingcostslessthanusingphotoresistThismicrofluidicmasterismoredurablethanthephotore
2、sistComparedwiththeanisotropicsiliconwetetching，itisquickerandhaslesspatterndeformationsInthisarticlewewillresearchonthecharacteristicsoftheisotropicsiliconwetetchingThedetailedprocessoffabricatingthemicrofluidicmasterus
3、ingisotropicsiliconwetetchingwillalsobeintroducedSoft1ithographyisoneofthemostimportantmethodstomakethemicrofluidicchannelsInthisarticle，wewi11brieflyintroducethedevelopmentandtheapplicationofthesoft1ithographyDuringoure
4、xperiments，wehaveresearchedontheprocessofthemonolayersoft1ithographyandmultilayersoft1ithographyinordertodobetterinthefurtherresearchonthemicrofluidicsystemfabricationWealsotestthemultilayercharacteristicsbytheexperiment
5、onamicrofluidicvalveMicrofluidicliquidwaveguidebasesontheprinciplesoflaminarflowThiswaveguidewillhavemoreapplicationinsensinganddelectatingdeviceBythefiniteelementmethod，wesimulatethelaminarflowinthemicrofluidicchannelan
6、danalyzetherelationbetweenthechangeoftherefractiveindexandthechangeoftheconcentrationofthesolutionandthedrivingpressureinthechannelsKeywords：ttNA，isotropicsiliconwetetching，microfluidicmaster，soft1ithographyandmicrofluid
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