可調碳納米管諧振器的TEM原位構建與研究.pdf

1、廈門大學學位論文原創(chuàng)性聲明另外，該學：f立論文為(L口為灶’)課題(組)，心h的研究成果，獲得蓮溪雩蓑一組，經費或實驗室的資助，在慨、博呦銳)實驗室完成。請在以上括號內填寫課聲明人(簽名)：引勿粥沙l6年廠月加日摘要原位透射電子顯微鏡技術(insituTEM)J匠_年來的快速發(fā)展，在材料的納米尺度研究中發(fā)揮了重要的作用，也為納機電系統(tǒng)(NEMS)I拘研究提供了一種新穎而強大的手段。納米諧振器作為NEMS的一項重要的應用，因其體積小、結構

2、緊密、高靈敏度、高分辨率、低功耗、低成本以及品質因子高等顯著的優(yōu)勢受到了科學和工程領域的廣泛關注。在各種各樣的納米諧振器的應用中，共振頻率通常決定了整個系統(tǒng)的靈敏度和精確度，而諧振器的諧振子的頻率可調節(jié)無論是對補償環(huán)境誤差還是對一些潛在的應用來說都是一個十分重要的功能。而碳納米管因其優(yōu)異的電學特性和力學特性，被視為用作納米諧振器振子的理想材料。因此，本文利用課題組已有的設備和技術，將原位手段應用于碳納米管諧振器的制備中，并通過幾種不同的

3、手段來實現諧振器共振頻率與品質因子的可控調節(jié)。特別是我們成功實現了頻率的可控可逆、可重復調節(jié)，其頻率的調控精度可達到01％。本文主要研究內容包括：發(fā)展了一種可控引入和消除碳管缺陷的方法從而可逆的改變碳納米管諧振器的共振頻率，同時還首次實現碳管顯微結構的改變與諧振子共振頻率變化的直接對應。缺陷的引入是通過電子束輻照碳納米管的方式來實現，從而使碳納米管頻率可控下降。缺陷的消除則是通過焦耳熱晶化退火來實現，從而導致碳納米管頻率的可控上升。同時