紫外納秒激光直寫銅膜微結構的研究.pdf

1、金屬薄膜在MEMS設備制造，航空航天，半導體加工等眾多領域均有廣泛的應用。在金屬薄膜上制作微結構的方法很多，本文針對使用激光直寫技術在銅薄膜上制作微結構進行了理論分析和實驗研究。
　　本文針對實際加工的需求，提出了不同的實驗方法，論文的主要工作包括以下幾個部分：
　　1.從理論角度分析了激光與材料相互作用的機理，描述了金屬對激光的反射和吸收，并利用雙溫模型描述了熱量在材料中的傳播過程。通過激光的能量密度公式推導出脈沖能量的對

2、數(shù)與燒蝕點直徑的平方呈線性關系。通過累積模型提出運動的光斑燒蝕銅膜的模型。
　　2.以中心波長為355 nm的固態(tài)激光器為核心設計并搭建了一套紫外納秒脈沖激光加工系統(tǒng)。系統(tǒng)運動控制核心為PMAC運動控制卡，PMAC通過擴展卡將輸出信號發(fā)送給位移臺的驅動電機，進而控制位移臺的運動方式。上位機軟件通過通訊接口控制激光器的參數(shù)并向 PMAC發(fā)送指令，通過對激光器和位移臺的協(xié)調控制實現(xiàn)對樣品的加工。
　　3.本文使用搭建的紫外納秒脈