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文檔簡(jiǎn)介
1、噴墨打印技術(shù)由于其工藝簡(jiǎn)單、非接觸式、可直接圖案化等優(yōu)點(diǎn),引起了人們的廣泛關(guān)注。而基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)薄膜晶體管在低成本的電子制造領(lǐng)域已成為研究的熱點(diǎn)。本課題的目的是采用噴墨打印的方法沉積有源層薄膜,通過(guò)優(yōu)化的工藝條件,制備高性能的有機(jī)薄膜晶體管。
本論文主要工作是對(duì)襯底進(jìn)行表面處理或旋涂表面修飾層,研究噴墨打印有源層薄膜的形貌與襯底表面性質(zhì)的關(guān)系,表面性質(zhì)通過(guò)表面能來(lái)標(biāo)定。采用噴墨打印的方法沉積TIPS并五苯有機(jī)半導(dǎo)體薄膜
2、作有源層,并制備成性能較優(yōu)的有機(jī)薄膜晶體管。此外,以一種新型的有機(jī)半導(dǎo)體材料C10-BTBT代替TIPS并五苯作為有源層材料,采用優(yōu)化的工藝條件和結(jié)構(gòu)噴墨打印制備了有機(jī)薄膜晶體管。主要內(nèi)容有:
(1)分別在三種不同的襯底上打印TIPS并五苯單點(diǎn)陣列和大面積薄膜。三種襯底分別為經(jīng)過(guò)清洗、旋涂HMDS和經(jīng)過(guò)紫外臭氧清洗的氧化硅片。以表面能為評(píng)估襯底表面性質(zhì)的參數(shù),研究襯底表面能與打印TIPS并五苯薄膜的形貌的關(guān)系。結(jié)果表明噴墨打印
3、TIPS并五苯薄膜的鋪展形貌與襯底的表面能分布有一定對(duì)應(yīng)關(guān)系;
(2)在SiO2襯底上旋涂PVP作為絕緣修飾層。分別在PVP襯底上和SiO2襯底上噴墨打印TIPS并五苯單點(diǎn)陣列和大面積薄膜,并制備成有機(jī)薄膜晶體管器件。結(jié)果表明,相對(duì)于未經(jīng)修飾的SiO2襯底,在PVP襯底上打印TIPS并五苯單點(diǎn)成膜更均勻,咖啡環(huán)效應(yīng)減弱;打印的大面積薄膜更容易形成連續(xù)的、取向一致的結(jié)晶。同時(shí)在PVP襯底上制備的有機(jī)薄膜晶體管獲得了更優(yōu)的器件性能
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