光學(xué)玻璃研磨加工后亞表面損傷研究.pdf

1、光學(xué)元件在研磨加工過程中引入的亞表面損傷會直接影響其使用壽命、穩(wěn)定性、成像質(zhì)量、鍍膜質(zhì)量和抗激光損傷閾值等重要指標(biāo)。因此，對研磨加工引入的亞表面損傷的準(zhǔn)確測量是確定后續(xù)加工過程的去除量、提高加工效率和保證亞表面損傷被完全去除的前提條件。本文綜述了亞表面損傷產(chǎn)生機(jī)理，采用差動腐蝕速率法和磁流變拋光斑點(diǎn)法測量了游離磨料和固結(jié)磨料研磨后K9玻璃的亞表面損傷深度，通過比較以期獲得一種快速、準(zhǔn)確的亞表面損傷測量方法。本文的主要研究工作和研究成果包

2、括以下幾個(gè)方面：
　　1.采用差動腐蝕速率法測量游離磨料和固結(jié)磨料研磨后K9玻璃的亞表面損傷深度；研究不同研磨方式對加工K9玻璃的亞表面損傷、材料去除率、表面粗糙度和表面形貌的影響；并分析它們和金剛石磨粒粒徑的關(guān)系；得出固結(jié)磨料研磨可以獲得比游離磨料研磨更好的加工質(zhì)量。
　　2.采用磁流變拋光斑點(diǎn)法測量游離磨料和固結(jié)磨料研磨后K9玻璃亞表面損傷裂紋深度，分析裂紋層深度和應(yīng)力層深度與金剛石磨粒粒徑的關(guān)系；并與差動腐蝕速率法測量

3、的亞表面損傷深度對比，得到兩種不同加工方式研磨后K9玻璃的應(yīng)力層深度，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明磁流變拋光斑點(diǎn)法測量亞表面損傷時(shí)可以獲得比差動腐蝕速率法更高的測量精度。
　　3.闡述了光學(xué)材料的機(jī)械特性和亞表面損傷形成的機(jī)理，分別建立游離磨料和固結(jié)磨料研磨模型，對模型進(jìn)行仿真分析，結(jié)果表明固結(jié)磨料研磨加工產(chǎn)生的亞表面裂紋損傷比游離磨料研磨小。適用于對光學(xué)材料的精密超精密加工。
　　最后，概括了全文的主要結(jié)論，并在此基礎(chǔ)上對理論上和技術(shù)上尚