φ300mm硅片磨削測力儀研究.pdf

1、磨削力是表征磨削狀況的一個重要指標，磨削力的大小不僅影響工件的磨削加工質(zhì)量和磨削加工精度，而且可以反映砂輪的磨損狀況。通過監(jiān)控磨削力的變化可以實時了解磨削狀態(tài)，而且測量磨削過程中的磨削力信息，可以及時控制磨削過程，優(yōu)化磨削用量，使磨削處于最佳狀態(tài)，提高磨削效率。
　　基于硅片超精密磨床的結構特點，分析磨削測力儀的最優(yōu)安裝方案，確定了磨削測力儀采用集成于砂輪主軸的圓環(huán)式結構?；跍y力儀的四個三向壓電傳感器兩種布置結構，菱形結構布置和

2、正方形結構布置，從理論上分析推導了測力儀中傳感器的受力計算公式，并利用有限元軟件ANSYS模擬了傳感器的受力狀態(tài)。實驗結果表明，四個壓電傳感器采用正方形結構布置更適合于磨削力的測量。根據(jù)磨削測力儀的性能要求，采用四個壓電傳感器的正方形結構布置，研制了集成于磨床砂輪主軸的壓電式磨削測力儀。為了模擬磨削測力儀的實際安裝狀態(tài)，實現(xiàn)實驗室條件下進行實驗標定，研制了磨削測力儀標定裝置。在實驗室靜態(tài)標定實驗臺上，對研制的磨削測力儀進行了靜態(tài)標定，得