已閱讀1頁(yè),還剩75頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、本文對(duì)直徑300mm晶體生長(zhǎng)熱場(chǎng)進(jìn)行了數(shù)值模擬,并模擬計(jì)算了晶體生長(zhǎng)過(guò)程中單晶爐內(nèi)的氬氣流動(dòng)情況.熱場(chǎng)的模擬計(jì)算結(jié)果與實(shí)驗(yàn)測(cè)量的結(jié)果基本一致,較好地模擬了單晶爐內(nèi)的熱場(chǎng)分布情況.通過(guò)對(duì)氬氣流動(dòng)情況的模擬分析,更好地了解了單晶爐內(nèi)氬氣流場(chǎng)的分布情況,這有利于我們更好地控制單晶爐內(nèi)的氨氣流的流速和流向,以及單晶中氧含量.通過(guò)對(duì)有熱屏和無(wú)熱屏兩種狀態(tài)下的熱場(chǎng)分布和晶體質(zhì)量的比較,我們得出:單晶爐內(nèi)施加熱屏,可以很好地改進(jìn)單晶爐內(nèi)的熱場(chǎng)分布,從
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 直拉硅單晶典型生長(zhǎng)過(guò)程的熱場(chǎng)數(shù)值模擬研究.pdf
- 300mm直拉單晶硅生長(zhǎng)過(guò)程中熔體-坩堝邊界層的研究.pdf
- 生長(zhǎng)φ8″直拉硅單晶φ18″熱場(chǎng)研究及數(shù)值模擬.pdf
- 基于數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程控制研究.pdf
- 單晶生長(zhǎng)過(guò)程直徑檢測(cè)與化料過(guò)程模式分類方法研究.pdf
- 勾形磁場(chǎng)對(duì)硅單晶CZ生長(zhǎng)過(guò)程影響的全局?jǐn)?shù)值分析.pdf
- 物性參數(shù)對(duì)硅單晶CZ法生長(zhǎng)過(guò)程影響的全局?jǐn)?shù)值分析.pdf
- Φ200mm和Φ450mm直拉單晶硅生長(zhǎng)過(guò)程有限元模擬研究.pdf
- 大直徑區(qū)熔硅單晶生長(zhǎng)設(shè)備電磁場(chǎng)及溫度場(chǎng)的數(shù)值模擬與實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 直拉硅單晶工藝參數(shù)對(duì)熱場(chǎng)的影響研究.pdf
- 高拉速低能耗φ200mm直拉硅單晶熱場(chǎng)的設(shè)計(jì)與分析.pdf
- 懸浮區(qū)熔法生長(zhǎng)大直徑單晶硅的數(shù)值模擬及其熱場(chǎng)分析.pdf
- 直拉硅單晶中微缺陷演變的相場(chǎng)模擬研究.pdf
- 大直徑區(qū)熔硅單晶的研究與制備.pdf
- 300mm 800mm框架梁計(jì)算書
- 植物生長(zhǎng)過(guò)程的模擬研究.pdf
- 直拉硅單晶生長(zhǎng)Cusp磁場(chǎng)的研究.pdf
- 碳化硅單晶生長(zhǎng)爐內(nèi)感應(yīng)加熱及氬氣流場(chǎng)的數(shù)值模擬.pdf
- 300mm硅片的磨削加工工藝研究.pdf
- φ300mm硅片磨削測(cè)力儀研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論