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文檔簡介
1、非晶硅薄膜作為一種極具發(fā)展?jié)摿Φ陌雽w材料,在日常生活中有著廣泛的應用。非晶硅材料以其優(yōu)異的光電特性、熱阻特性、熱光特性以及與集成電路工藝良好的兼容性,被大范圍的應用在太陽能發(fā)電、光電集成器件以及熱成像等領域。本文將針對非晶硅材料的熱光特性以及非晶硅薄膜的在實際應用中要求,進行以下研究:
運用了單振子模型對非晶硅的熱光系數(shù)進行了公式推導,在所得公式基礎上對各個參量進行了初步仿真分析。在初步仿真和分析的基礎上對參數(shù)進行近似化簡,
2、按照非晶硅中氫含量的高低差異建立了兩種模型,分別討論和分析了非晶硅的熱光系數(shù)與氫含量之間的關系。
實驗制備并分析了非晶硅材料傅里葉紅外透射光譜,研究了不同的實驗工藝條件對非晶硅材料的紅外響應特性的影響,發(fā)現(xiàn)在射頻功率較低、基片溫度較低以及反應壓強較低的情況下,制備的非晶硅材料的含氫量較高。
借助Fabry-Perot濾波器模型,理論分析了薄膜的厚度均勻性對濾波器性能的影響,說明了研究薄膜厚度均勻性的意義。
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