2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
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1、光網(wǎng)絡(luò)中的波分復(fù)用(WDM)系統(tǒng)促進(jìn)了熱光可調(diào)諧濾波器的應(yīng)用,特別是以薄膜為基礎(chǔ)的法布里-珀羅(F-P)結(jié)構(gòu)的熱光可調(diào)諧薄膜濾波器,因其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、損耗小、穩(wěn)定性好、配置靈活、便于和其它光電子器件集成等優(yōu)點(diǎn),得到廣泛的研發(fā)與應(yīng)用。本文對(duì)熱光可調(diào)諧薄膜濾波器的結(jié)構(gòu)和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)制備的非晶硅光學(xué)性質(zhì)展開(kāi)研究,研究?jī)?nèi)容如下:
  設(shè)計(jì)出F-P窄帶單通道非晶硅薄膜濾波器。分析非晶硅薄膜的折射率和熱光系數(shù)與濾波器透射

2、率關(guān)系式,得出組成高反射率的多層介質(zhì)薄膜的折射率差越大,濾波器的半波寬越??;F-P腔中的熱光系數(shù)越大,濾波器的調(diào)諧范圍就越大的結(jié)論。為非晶硅折射率和熱光系數(shù)的理論與工藝研究提供了依據(jù)。
  以克修斯-莫索提方程為基礎(chǔ),討論非晶硅薄膜結(jié)構(gòu)與晶體硅的差異,以及非晶硅組成成分的多樣性,修正克修斯-莫索提模型,建立了非晶硅有效折射率模型,推導(dǎo)出非晶硅有效折射率與薄膜組成成分的極化率關(guān)系式。在分析PECVD原理,及非晶硅成膜機(jī)理基礎(chǔ)上,以麥

3、克斯韋分子運(yùn)動(dòng)論為指導(dǎo),建立起PECVD反應(yīng)腔中的等離子運(yùn)動(dòng)模型,得到工藝參數(shù)(如:腔體氣體的溫度、壓強(qiáng)和襯底溫度)與非晶硅薄膜中各成分含量的關(guān)系式。并利用該公式,推導(dǎo)出非晶硅薄膜有效折射率與工藝參數(shù)關(guān)系式,該關(guān)系式為F-P薄膜濾波器的工藝制作提供理論指導(dǎo)。
  針對(duì)現(xiàn)階段非晶硅熱光系數(shù)的研究和測(cè)量的不足,研究了一種非晶硅熱光系數(shù)的測(cè)量新方法。應(yīng)用量子理論,分析非晶硅的物理性質(zhì),得到非晶硅禁帶寬度與非晶硅混亂度和測(cè)量溫度的函數(shù)關(guān)系

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