基于Web Service的半導體設備Interface A標準實現(xiàn).pdf

1、中國作為目前世界最大的電子產(chǎn)品市場，也逐漸成為越來越重要的電子集成電路生產(chǎn)基地，中國的半導體產(chǎn)業(yè)在世界半導體制造領域逐漸占有了舉足輕重的地位。作為具有高附加價值的半導體集成電路制造，僅僅具有龐大的生產(chǎn)規(guī)模是不夠的，先進的技術的研發(fā)和應用才是真正的核心競爭力。
　　本文首先從CIM（計算機集成制造）技術在半導體集成電路制造業(yè)的重要作用入手，闡述CIM在半導體行業(yè)中的具體定義及組成。并由此引入半導體生產(chǎn)工廠自動化的概念。通過簡單回顧工

2、廠自動化的發(fā)展歷史，介紹了半導體行業(yè)標準產(chǎn)生的原因及現(xiàn)實意義。由半導體工廠自動化主要依據(jù)的通訊，控制標準及模型，介紹了目前半導體行業(yè)標準在集成電路制造過程中的各項應用。由近幾年整體產(chǎn)業(yè)的壓力及發(fā)展方向，闡述了為什么要推出Interface-A系列標準。
　　主要通過以目前國內(nèi)領先的半導體設備制造公司的蝕刻設備為原型，通過對該設備的工藝流程和半導體行業(yè)主要標準的研究，除了設計開發(fā)了基于主流300mm晶圓集成電路制造設備的工廠自動化接

3、口所要求的一系列基本標準之外，還進一步設計開發(fā)了Interface-A功能。Interface-A的實現(xiàn)，主要包括利用Web Service和XML實現(xiàn)的數(shù)據(jù)采集及傳輸，以及基于技術信息保密而產(chǎn)生的訪問用戶認證與授權管理。目前主要工廠自動化模塊已經(jīng)通過了臺灣，韓國，新加坡及上海數(shù)家半導體芯片制造商的驗收并投入生產(chǎn)線。Interface-A模塊也已經(jīng)完成了主要設計及實現(xiàn)，正處于集成測試階段。近期將會作為一項工廠自動化先進數(shù)據(jù)采集解決方案推