Al2O3及本征非晶硅層鈍化研究.pdf

1、Al2O3和本征非晶硅層在硅表面以其良好的鈍化性能越來越受到人們的青睞。隨著人們對(duì)太陽電池低成本、高效率的追求，硅片的厚度也越來越低，因此硅片的表面鈍化就顯的尤為重要。傳統(tǒng)的鈍化材料，如SiOx、SiNx、SiOx/SiNx疊層等都存在諸多問題，所以新型鈍化材料Al2O3和本征非晶硅層不但能體現(xiàn)出良好鈍化效果，并且在新型高效電池結(jié)構(gòu)中也表現(xiàn)出良好的特性。本論文從Al2O3鈍化效果的優(yōu)化和應(yīng)用以及本征非晶硅層在HIT電池上的應(yīng)用出發(fā)，探究

2、了改變不同的條件對(duì)Al2O3鈍化效果的影響，得出了最優(yōu)化的鈍化條件，并且將優(yōu)化后的Al2O3結(jié)合傳統(tǒng)工藝，將其應(yīng)用在PERC(Passivated Emitter and Rear Cell)結(jié)構(gòu)高效太陽電池的表面，于此同時(shí)通過不同襯底、不同結(jié)構(gòu)的HIT電池驗(yàn)證本征非晶硅層的鈍化效果。主要研究工作如下:
　　(1)研究了不同生長(zhǎng)溫度、退火條件對(duì)Al2O3鈍化效果的影響。通過改變Al2O3的生長(zhǎng)溫度以及退火條件發(fā)現(xiàn)，Al2O3沉積溫

3、度在200℃左右、退火溫度為400℃左右、在FGA(Forming gas)氛圍中退火時(shí)間15min分鐘左右時(shí)，其鈍化效果達(dá)到最優(yōu)效果;并且通過對(duì)比發(fā)現(xiàn)Al2O3作為鈍化效果要優(yōu)于熱氧化生長(zhǎng)的SiOx鈍化效果。
　　(2)研究了Al2O3結(jié)合幾種不同工藝應(yīng)用于PERC結(jié)構(gòu)高效電池。通過結(jié)果分析比較發(fā)現(xiàn)，激光燒蝕制得Al2O3背面全鈍化局部接觸電池性能要優(yōu)于光刻工藝和激光燒結(jié)制得Al2O3背面全鈍化局部接觸電池性能。
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