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文檔簡介
1、隨著集成電路技術(shù)的迅猛發(fā)展和進(jìn)步,芯片的集成度越來越高,特征尺寸逐漸減小,線寬也越來越窄,對集成電路性能的要求越來越高,如提高集成度、解決互連延遲,還要滿足性能、頻寬和功耗的要求等。目前,國際上特征尺寸為22nm/20nm的極大規(guī)模集成電路(GLSI)已實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn),晶圓尺寸為300mm,多層金屬互連層數(shù)高達(dá)10層以上,為了保證最終晶圓各種參數(shù)乃至器件性能滿足客戶的要求,就要求在每一層布線之后,都能夠得到較高的晶圓表面平整度。
2、 化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是目前公認(rèn)的能夠有效實現(xiàn)全局平坦化的技術(shù),而在集成電路制造過程所需要的CMP中,阻擋層的CMP是最終決定晶圓平坦化效果的關(guān)鍵環(huán)節(jié),直接影響器件性能和成品率。阻擋層的CMP過程涉及到對銅、鉭、介質(zhì)這三種不同性質(zhì)材料同時進(jìn)行拋光,最終將鉭和介質(zhì)完全去除,剩余銅線條,由于銅質(zhì)地較軟,拋光后表面易產(chǎn)生微劃傷、腐蝕坑等問題,這都對阻擋層的CMP提出了更大的挑戰(zhàn),并且拋光后表面會有顆粒的粘附,這些問題都影響晶圓表面粗糙度。
3、因此對阻擋層CMP過程以及清洗液進(jìn)行深層次研究就有了非常重要的實踐意義。
本文主要通過單因素實驗探索拋光工藝參數(shù)、拋光液組分及清洗液成分對銅表面粗糙度的影響,對實驗數(shù)據(jù)進(jìn)行整理,對所得結(jié)果進(jìn)行研究分析,并將研究的最后成果運用到300mm銅布線晶圓阻擋層平坦化實驗中。拋光后對實驗晶圓片進(jìn)行表面缺陷的檢測,測試結(jié)果為拋光后單層銅布線碟形坑低于450?,蝕坑低于200?,銅膜表面粗糙度為0.679nm,各項檢測結(jié)果均滿足工業(yè)生產(chǎn)要求
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