環(huán)形光源在Fizeau干涉系統(tǒng)中的設(shè)計(jì)與研究.pdf

1、在高分辨率高精度光學(xué)干涉檢測(cè)過(guò)程中,系統(tǒng)中元件的缺陷及干涉環(huán)境中(除干涉腔外)的微小顆粒產(chǎn)生的寄生干涉條紋等相干噪聲,嚴(yán)重制約著干涉測(cè)試精度的提高。因此,本論文針對(duì)干涉系統(tǒng)檢測(cè)過(guò)程中存在的相干噪聲,從干涉系統(tǒng)的光源部分入手,展開了對(duì)抑制相干噪聲方法的研究,得到了若干有意義的結(jié)果。
　　 根據(jù)干涉成像系統(tǒng)的理論模型,以最大化抑制相干噪聲為目標(biāo),深入分析了環(huán)形光源照明模式下的干涉模型,該照明方法具有在抑制相干噪聲的同時(shí),最優(yōu)化的保留

2、了干涉條紋的對(duì)比度。然后,通過(guò)范西特-澤尼克(Van Cittert-Zemike)定理對(duì)環(huán)形光源與準(zhǔn)點(diǎn)光源的空間相干度進(jìn)行對(duì)比,得到了環(huán)形光源照明的光場(chǎng)強(qiáng)度分布及對(duì)比度表達(dá)式,并進(jìn)一步模擬了離軸照明方法所引起的問(wèn)題,并就環(huán)形光源半徑的大小,寬度及干涉腔長(zhǎng)等參量與干涉條紋對(duì)比度之間的關(guān)系進(jìn)行了驗(yàn)證、分析與討論。
　　 為了驗(yàn)證環(huán)形光源具有抑制相干噪聲的能力,在Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)軟件中,通過(guò)光柵衍射的方法得到了環(huán)形光源,并設(shè)計(jì)建模