干涉準(zhǔn)直系統(tǒng)的設(shè)計(jì)研究.pdf

1、近年來，以準(zhǔn)直激光束作為直線基準(zhǔn)的測量方法得到了極快發(fā)展，激光準(zhǔn)直技術(shù)在直線度、同軸度、平面度、平行度等形位誤差測量中已經(jīng)得到了廣泛應(yīng)用。由于存在激光光束漂移、光線彎曲、大氣擾動等難以克服的問題，所以，激光準(zhǔn)直技術(shù)檢測大尺寸長導(dǎo)軌的測量精度一直都很難得到提高。 針對激光準(zhǔn)直在長導(dǎo)軌直線度誤差測量中的特點(diǎn)，本課題設(shè)計(jì)了一種基于干涉條紋的便攜式激光準(zhǔn)直系統(tǒng)。系統(tǒng)將準(zhǔn)直擴(kuò)束后的激光束投射到楔形光學(xué)平板上，利用硅光電池接收光束在楔形光學(xué)

2、平板前后表面反射后形成的干涉條紋，再由后續(xù)電路處理獲得被測導(dǎo)軌表面的微小傾角值，最后由計(jì)算機(jī)對導(dǎo)軌表面各點(diǎn)的測量值進(jìn)行處理，計(jì)算出被測導(dǎo)軌的直線度誤差。 系統(tǒng)設(shè)計(jì)了反饋控制電路，用軟件濾波的方法實(shí)時(shí)計(jì)算出兩路光電信號中直流偏置的大小，并用比例(P)控制算法對直流偏置調(diào)整電路進(jìn)行反饋控制，消除光電信號包含的隨測量距離變化而緩慢變化的殘留直流電平，以提高系統(tǒng)的測量精度。 系統(tǒng)設(shè)計(jì)了無線通信電路和USB通信電路，將測量數(shù)據(jù)以無