基于五棱鏡掃描法的大口徑光學準直系統(tǒng)出射波前的檢測.pdf

1、近年來，大口徑光學系統(tǒng)在天文光學、空間光學、地基空間目標的探測與識別以及慣性約束聚變(ICF)等高技術領域都得到了越來越廣泛的應用。但大口徑光學系統(tǒng)波面的檢測卻一直受到龐大的設備費用與測量設備較長加工周期的限制而沒有得到很好的解決。為了以低成本、高分辨率檢測光學系統(tǒng)中大口徑光學元件，對于大口徑光學系統(tǒng)波面檢測技術的研究受到越來越多的重視。 文章中提出一種利用五棱鏡掃描對大口徑光學準直系統(tǒng)出射波前進行檢測的方案。該方案對擴大空間測

2、量范圍、保持高空間分辨率、降低成本等方面都有重要意義。 文章研究用五棱鏡掃描法檢測大口徑光學準直系統(tǒng)的出射波前。根據(jù)五棱鏡使光線折轉(zhuǎn)90度的特性使激光束精確轉(zhuǎn)向，并對波面各采樣點進行掃描。利用位置敏感探測器(PSD)探測掃描到的光斑，并計算得到光斑質(zhì)心坐標。借助A/D卡采集數(shù)據(jù)，把質(zhì)心坐標讀入計算機，利用MATLAB編制的界面程序，實時處理并顯示擬合的波面圖。本文中，同時對波前檢測中的各種誤差源進行了詳細的分析和討論，包括導軌誤