基于五棱鏡掃描法的大口徑光學(xué)準(zhǔn)直系統(tǒng)出射波前的檢測.pdf

1、近年來，大口徑光學(xué)系統(tǒng)在天文光學(xué)、空間光學(xué)、地基空間目標(biāo)的探測與識(shí)別以及慣性約束聚變(ICF)等高技術(shù)領(lǐng)域都得到了越來越廣泛的應(yīng)用。但大口徑光學(xué)系統(tǒng)波面的檢測卻一直受到龐大的設(shè)備費(fèi)用與測量設(shè)備較長加工周期的限制而沒有得到很好的解決。為了以低成本、高分辨率檢測光學(xué)系統(tǒng)中大口徑光學(xué)元件，對(duì)于大口徑光學(xué)系統(tǒng)波面檢測技術(shù)的研究受到越來越多的重視。 文章中提出一種利用五棱鏡掃描對(duì)大口徑光學(xué)準(zhǔn)直系統(tǒng)出射波前進(jìn)行檢測的方案。該方案對(duì)擴(kuò)大空間測

2、量范圍、保持高空間分辨率、降低成本等方面都有重要意義。 文章研究用五棱鏡掃描法檢測大口徑光學(xué)準(zhǔn)直系統(tǒng)的出射波前。根據(jù)五棱鏡使光線折轉(zhuǎn)90度的特性使激光束精確轉(zhuǎn)向，并對(duì)波面各采樣點(diǎn)進(jìn)行掃描。利用位置敏感探測器(PSD)探測掃描到的光斑，并計(jì)算得到光斑質(zhì)心坐標(biāo)。借助A/D卡采集數(shù)據(jù)，把質(zhì)心坐標(biāo)讀入計(jì)算機(jī)，利用MATLAB編制的界面程序，實(shí)時(shí)處理并顯示擬合的波面圖。本文中，同時(shí)對(duì)波前檢測中的各種誤差源進(jìn)行了詳細(xì)的分析和討論，包括導(dǎo)軌誤