SEM下三維可視化遙納操作系統(tǒng)研究.pdf

1、面向微納級操作對象的控制系統(tǒng)，其操作過程中會呈現(xiàn)出諸多與宏觀操作不同的現(xiàn)象和特點，這對系統(tǒng)的靈活性、可靠性和高效性提出了更高的要求。本文結(jié)合SEM視覺輔助、力覺反饋設(shè)備、虛擬現(xiàn)實技術(shù)，搭建具有視覺反饋和虛擬力覺反饋的三維可視化主從遙納操作系統(tǒng)，分析操作環(huán)境中的非理想因素，對操作流程和控制手段做進一步完善。
　　基于VR技術(shù)構(gòu)建擬實場景，增加主端操作者的臨場感，并對虛擬模型的碰撞檢測與力覺渲染進行分析，建立力覺臨場感子系統(tǒng)。

2、　　依據(jù)二端口理論對操作者-力覺設(shè)備-虛擬環(huán)境所構(gòu)成的力覺交互系統(tǒng)建模，并利用Llewellyn絕對穩(wěn)定判據(jù)分析系統(tǒng)穩(wěn)定性;引入虛擬匹配環(huán)節(jié)(VC)消除虛擬環(huán)境所帶來的不穩(wěn)定因素，應(yīng)用阻抗帶寬理論評價加入匹配環(huán)節(jié)后的系統(tǒng)性能。
　　為實現(xiàn)虛擬場景刷新與模型校正，應(yīng)用邊緣檢測與改進的霍夫直線變換提取SEM圖像目標(biāo)物的平面幾何參數(shù);針對操作工具的閉環(huán)控制，提出興趣區(qū)域(ROI)下的二維SEM圖像深度特征提取策略，構(gòu)造圖像評價函數(shù)，快速