微觀表面三維形貌檢測系統(tǒng)的研究.pdf

1、隨著表面加工技術(shù)和三維形貌檢測技術(shù)的不斷發(fā)展，對表面加工精度和形貌檢測精度要求越來越高，而傳統(tǒng)的檢測技術(shù)已經(jīng)不能滿足這樣的需求，基于光學(xué)干涉原理的檢測具有無損傷、精度高的優(yōu)點(diǎn)，具有巨大的發(fā)展前景和市場前景，目前大多還處于實(shí)驗(yàn)室研究階段，市場化很少且價(jià)格昂貴，因此對高測量精度、穩(wěn)定可靠、操作簡單、易于市場化的光學(xué)儀器三維形貌檢測系統(tǒng)的研究具有極其重要的意義。
　　本論文基于微分移相干涉檢測基本原理、橫向剪切原理及技術(shù)方法，搭建了不需

2、要隔震臺(tái)、測量方便、高檢測效率、高測量精度的微觀表面三維形貌檢測系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠工作在普通的環(huán)境而不需隔震臺(tái)。通過 Labview軟件編程實(shí)現(xiàn)了檢偏器部分和CCD采集圖像部分的自動(dòng)控制，利用可編程邏輯控制器控制二維平移臺(tái)實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)自動(dòng)化、大范圍的測量功能?？梢詫?shí)現(xiàn)穩(wěn)定可靠、大范圍的精確檢測，且具有操作簡單、測量精度高的優(yōu)點(diǎn)。
　　本系統(tǒng)通過在無隔震臺(tái)和有隔震臺(tái)兩種裝置條件下，對標(biāo)準(zhǔn)樣品包括IC晶圓片、光學(xué)器件和電腦硬盤片分別進(jìn)行表

3、面形貌檢測，得到兩種條件下的表面形貌粗糙度，通過計(jì)算粗糙度重復(fù)測量精度，對比兩種條件下的檢測精度和檢測效果：有隔震臺(tái)條件下，檢測精度高，但是操作復(fù)雜、檢測效率低、測量范圍小；無隔震臺(tái)條件下，檢測精度稍低，但是具有操作簡單、檢測效率高、測量范圍大的優(yōu)點(diǎn)，可以滿足大多數(shù)的微觀表面檢測要求。
　　本系統(tǒng)通過在無隔震臺(tái)條件下的大量測量實(shí)驗(yàn)，重點(diǎn)分析了系統(tǒng)的垂軸分辨率、軸向分辨率、粗糙度重復(fù)測量精度和縱向高度重復(fù)測量精度四項(xiàng)性能參數(shù)以及由于