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文檔簡介
1、金屬氧化物半導體的氣敏特性,是在一定溫度下半導體化合物跟所接觸的氣體(氧化性或還原性)發(fā)生反應而導致電阻值發(fā)生變化的現(xiàn)象。漫反射傅里葉變換紅外光譜法(DRIFTS)是近年來發(fā)展起來的一項原位(insitu)譜學檢測技術(shù),通過對催化劑上現(xiàn)場反應吸附態(tài)的跟蹤表征以獲得一些有價值的表面反應信息,進而對反應機理進行剖析,已在催化表征中日益受到重視?;诖?本文通過對金屬氧化物半導體氣敏傳感器進行改性(摻雜貴金屬和制備異質(zhì)結(jié)材料),提高對甲醛和丙
2、酮等有毒氣體的敏感性能,并運用DRIFTS手段探討甲醛和丙酮等有毒氣體在納米γ-Fe2O3基敏感材料表面的吸附與反應情況。
(1)利用絲網(wǎng)印刷技術(shù)制備純納米γ-Fe2O3氣敏元件,通過XRD和FESEM表征分析發(fā)現(xiàn):γ-Fe2O3薄膜是由尺寸均勻的球狀顆粒組成的多孔結(jié)構(gòu);晶體結(jié)構(gòu)為立方相。測試其對100ppm甲醛和丙酮的氣敏性能,利用DRIFTS研究了不同溫度條件下,甲醛和丙酮氣體在γ-Fe2O3薄膜表面的吸附與反應過程,研究
3、表明:甲醛在其表面反應的主要物種為吸附態(tài)甲醛、二氧亞甲基和甲酸鹽,另外還有少量的聚甲醛;丙酮在其表面反應的主要物種為吸附態(tài)丙酮、醋酸鹽、甲氧基和碳酸鹽類。由此推斷出甲醛和丙酮在γ-Fe2O3薄膜表面的反應過程,并對氣敏性能及氣固界面反應機理進行解釋。
(2)利用絲網(wǎng)印刷和滴注相結(jié)合的技術(shù)制備Pd/γ-Fe2O3氣敏元件,測試其對100ppm甲醛和丙酮的氣敏性能,利用DRIFTS研究了不同溫度條件下,甲醛和丙酮氣體在Pd/γ-F
4、e2O3薄膜表面的吸附與反應過程。研究表明:摻雜貴金屬Pd提高了對甲醛的氣敏性能。測試氣體在摻雜金屬Pd的表面發(fā)生反應,這些摻雜Pd由于不同的親電性改變了靜電勢,繼而改變了表面勢壘高度,這相應地改變了半導體內(nèi)部的電阻;同時,PdCl2分散在氧化鐵顆粒表面,抑制了氧化鐵顆粒長大,使其具有大的比表面積,這樣氣體分子更容易擴散進入氣敏膜內(nèi),有利于氣體分子與膜層材料之間的物質(zhì)傳輸。
(3)利用絲網(wǎng)印刷技術(shù)制備Nb2O5/γ-Fe2O3
5、氣敏元件,測試其對100ppm甲醛和丙酮的氣敏性能,利用DRIFTS研究了不同溫度條件下,甲醛和丙酮氣體在Nb2O5/γ-Fe2O3薄膜表面的吸附與反應過程。研究表明:在納米γ-Fe2O3氣敏材料中添加一定量的Nb2O5形成異質(zhì)結(jié)構(gòu),提高了純γ-Fe2O3氣敏材料對甲醛和丙酮氣體的氣敏性能。一方面,Nb2O5的加入抑制了納米γ-Fe2O3顆粒長大,形成大的比表面積,而大的比表面積有利于氣敏性能;另一方面,Nb2O5增加了γ-Fe2O3的
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