硅微結(jié)構(gòu)金屬輔助化學(xué)刻蝕技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、硅微結(jié)構(gòu)在太陽能電池，光電探測器件以及傳感器等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用，制備硅微結(jié)構(gòu)的方法有很多，但是金屬粒子輔助化學(xué)刻蝕法被認(rèn)為是最簡單，最有效，最經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的制備方法。
　　本文主要利用金屬輔助化學(xué)刻蝕原理，在硅襯底上分別制備多孔硅和硅納米線。通過改變刻蝕時(shí)間和氧化劑濃度來觀察多孔硅和硅納米線結(jié)構(gòu)變化，同時(shí)也對制備硅納米線的工藝進(jìn)行了優(yōu)化，并分析了硅納米線頂端團(tuán)簇形成的原因。隨著刻蝕時(shí)間和氧化劑濃度的增加，多孔硅孔徑變大，孔壁變薄，

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