亞表面損傷測量技術中全內反射粗定位系統(tǒng)的研究.pdf

1、光學元件的亞表面損傷嚴重影響著光學系統(tǒng)的抗激光損傷閾值和大型光學系統(tǒng)的成像及鍍膜質量、系統(tǒng)的長期穩(wěn)定性，很大程度上制約了能源、軍事、航天等高新技術科研領域的發(fā)展。因此，對光學元件亞表面損傷的控制成為相關領域一項至關重要的技術。傳統(tǒng)光學對亞表面損傷問題的關注極少，隨著入射光源能量的不斷提升，尤其在高功率激光領域，亞表面裂紋的控制才能越來越受人們的關注。
　　本文研究了基于光的全內反射原理獲得光學元件亞表面損傷信息的一種測量方法。首先

2、分析了照明光源的偏振狀態(tài)對亞表面損傷點的偶極子散射特性，研究了全內反射角的變化對偶極子散射的影響，討論了亞表面裂紋情況下，裂紋和S偏振光之間夾角與相對散射功率之間的關系，通過Matlab軟件的仿真模擬出了參量之間的關系。其次通過原理的分析和公式推導得到全內反射粗定位系統(tǒng)關鍵部件的設計:一是對照明系統(tǒng)光路的設計;二是對顯微成像系統(tǒng)中渥拉斯頓棱鏡、諾馬斯基棱鏡的設計，確定了渥拉斯頓棱鏡的楔角、厚度等參數(shù)關系，模擬仿真了諾馬斯基棱鏡光軸傾角、