模塑材料表面導(dǎo)電線路的直寫技術(shù)研究.pdf

1、近年來(lái),隨著微電子技術(shù)的快速發(fā)展和高聚物材料的廣泛應(yīng)用,傳統(tǒng)的微電子制作技術(shù)已經(jīng)不能滿足電子產(chǎn)品向多樣化、集成化、微型化等方向發(fā)展的要求。直寫技術(shù)以其無(wú)需掩模、精度高、柔性化程度高的特點(diǎn),成為模塑材料表面制作導(dǎo)電線路領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。本論文從微細(xì)筆直寫技術(shù)與激光直寫技術(shù)兩個(gè)方面探討了高聚物材料表面導(dǎo)電線路的制作,為模塑結(jié)構(gòu)三維金屬線路的制作提供了新的方法和思路。
　　利用微細(xì)筆直寫技術(shù),在聚酰亞胺材料表面沉積導(dǎo)電銀膠制作了由雙臂平面

2、等角螺旋天線和雙臂圓錐對(duì)數(shù)螺旋天線復(fù)合的三維微帶天線。這兩種螺旋天線被分別進(jìn)行建模和直寫加工,然后再進(jìn)行復(fù)合。實(shí)驗(yàn)表明,制作的三維微帶天線中導(dǎo)電膜層均勻致密,一致性好,導(dǎo)電性與粘附性好,制作工藝簡(jiǎn)單,制作周期短。
　　提出了利用脈沖激光輔助化學(xué)鍍的方法在聚碳酸酯材料表面制作導(dǎo)電線路的工藝。用波長(zhǎng)為1064nm的脈沖激光先在預(yù)置有活化劑的聚碳酸酯的模塑結(jié)構(gòu)表面刻蝕出設(shè)計(jì)圖形,清洗之后實(shí)施化學(xué)鍍,在聚碳酸酯材料的刻蝕區(qū)域沉積出金屬層,

3、從而得到所需圖形的導(dǎo)電線路。研究了激光功率密度、掃描速度、掃描線條長(zhǎng)度等加工參數(shù)對(duì)刻蝕效果及金屬鍍層形貌的影響規(guī)律。通過(guò)微觀形貌、粗糙度、接觸角、紅外光譜、電子散射譜等物理、化學(xué)的表征技術(shù)探討了脈沖激光輔助化學(xué)鍍的機(jī)理,認(rèn)為激光對(duì)聚碳酸酯材料的物理粗化微融和活性劑對(duì)基體的吸附以及擴(kuò)散是可以實(shí)現(xiàn)化學(xué)鍍和鍍層性能良好的主要原因。測(cè)試表明,得到的導(dǎo)電線路的表面形貌、粘附性能和導(dǎo)電性能良好。該工藝無(wú)需掩模,利用激光直寫加工,柔性化程度高,選擇性